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目录:郑州科探仪器设备有限公司>>材料样品处理>>小型溅射仪>> KT-Z1650PVD金属磁控溅射仪

金属磁控溅射仪
  • 金属磁控溅射仪
参考价 面议
具体成交价以合同协议为准
参考价 面议
具体成交价以合同协议为准
  • 品牌 ??铺?
  • 型号 KT-Z1650PVD
  • 厂商性质 生产商
  • 所在地 郑州市
属性

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更新时间:2024-03-27 15:04:05浏览次数:2950评价

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靶材材质 金 铂 铜 银 等 靶材尺寸 50mm
产地类别 国产 价格区间 面议
溅射气体 根据需求通气 控制方式 触摸屏智能控制
样品仓尺寸 φ160x160mm 样品台尺寸 50mm
应用领域 综合
金属磁控溅射仪, 外形小巧 ,功率电流大小可调,触摸屏控制,有工艺储存功能,外配水冷机可长时间工作。

属磁控溅射仪这是一种易于使用的基本仪器,用于SEM试样的镀金。它具有全可变电流控制、带暂停选项的数字过程定时器、可变高度试样台、铰链顶板和 O 形圈密封真空室。该控制装置允许独立于气体压力设置溅射电流,气体压力由手动泄漏阀单独调节。覆盖面和晶粒尺寸针对任何试样进行了优化,径目标的冷磁控管型磁头能够以最小的加热实现高效的溅射。镀膜时间由带有数字读数的定时器设置并存储在存储器中。真空状态和溅射电流显示在C触摸屏上。

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属磁控溅射仪厂家供应技术参数;

控制方式

7寸人机界面 手动 自动模式切换控制

溅射电源

直流溅射电源

镀膜功能

0-999秒5段可变换功率及挡板位和样品速度程序

功率

≤1000W

输出电压电流

电压≤1000V  电流≤1A

真空

机械泵 ≤5Pa(5分钟)   分子泵≤5*10^-3Pa

溅射真空

≤30Pa

挡板类型

电控

真空腔室

石英+不锈钢腔体φ160mm x 170mm

样品台

可旋转φ62  (可安装φ50基底)

样品台转速

8转/分钟

样品溅射源调节距离

40-105mm

真空测量

皮拉尼真空计(已安装 测量范围10E5Pa  1E-1Pa)

预留真空接口

KF25抽气口    KF16放气口   6mm卡套进气口




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