近期我司新升級了小型濺射、蒸鍍儀器:1、腔體材質(zhì)全鋁合金一體加工成形。2、進氣口直接在腔體側(cè)壁整體加工進氣管道減少至少3處管道連接口從而減小漏氣故障率。3、設(shè)備寬度由435mm 減小到420mm。 4、濺射磁場加強。5、6兩款產(chǎn)品全部預(yù)留了SMA擴展口,進行晶振或者其他信號輸入輸出。小型臺式濺射功率可控磁控濺射儀,儀器雖小功能齊全,配備有電壓 電流反饋,樣品臺旋轉(zhuǎn),樣品高度調(diào)節(jié),及電動擋板功能。通過定時調(diào)節(jié)預(yù)濺射功率及薄膜沉積功率,可對大部分金屬進行均勻物理沉積,真空腔室為透明石英玻璃減少樣品污染,樣品臺可旋轉(zhuǎn)以獲得更均勻的薄膜,可制備各種金屬薄膜。
2025款 1英寸微型探針臺:修改了 3軸滑臺加強剛性強度,增加了行程,提高了精度和使用壽命,腔體部分內(nèi)徑和高度加大增高,電接口升級了增強絕緣電阻和最高加電壓上限。
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