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X射线荧光光谱仪（X-rayFluorescenceSpectrometer，简称：XRF光谱仪），是一种快速的、非破坏式的物质测量方法。X射线荧光（X-rayfluorescence，XRF）是用高能量X射线或伽玛射线轰击材料时激发出的次级X射线。

XRF用X光或其他激发源照射待分析样品，样品中的元素内层电子被击出后，造成核外电子的跃迁，在被激发的电子返回基态的时候，会放射出特征X光；不同的元素会放射出各自的特征X光，具有不同的能量或波长特性。

不同元素发出的特征X射线荧光能量和波长各不相同，因此通过对其的能量或者波长的测量即可知道它是何种元素发出的，进行元素的定性分析。射线强度与相应元素在样品中的含量有关，因此通过测试其强度实现元素的定量分析。

检测器(Detector)接受这些X光，仪器软件系统将其转为对应的信号。这一现象广泛用于元素分析和化学分析，在某种程度上与原子吸收光谱仪实现互补。