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實(shí)驗(yàn)室冷阱在真空操作中的重要作用
閱讀：1555 發(fā)布時(shí)間：2023-2-10
實(shí)驗(yàn)室冷阱是利用低溫表面來(lái)凝聚氣體分子以實(shí)現(xiàn)抽氣的一種泵，是真空鍍膜設(shè)備目前獲得極限真空高，抽速至大的抽氣泵。冷凝泵是依靠制冷機(jī)獲取冷量，利用低溫表面冷凝和吸附氣體的物理過(guò)程來(lái)獲得和保持真空。它具有極限真空度高(可達(dá)10-8Pa)、清潔無(wú)油、對(duì)各種氣體都具有較大抽速等特點(diǎn)，同時(shí)它可以長(zhǎng)期可靠運(yùn)行，是分子泵、油擴(kuò)散泵。能快速吸附水、油蒸汽、可縮短排氣時(shí)間60-90%；降溫、除霜、回溫迅速，5分鐘可再降溫；一臺(tái)設(shè)備可設(shè)計(jì)兩路負(fù)載輸出，搭配觸摸屏+PLC完善的自動(dòng)化控制；具有兩路負(fù)載入口和出口溫度顯示、本機(jī)溫度顯示；當(dāng)待機(jī)溫度到達(dá)后有指示燈提示，可以開始制冷。因此在半導(dǎo)體器件的生產(chǎn)過(guò)程中，廣泛運(yùn)用于蒸發(fā)、濺射、離子注入、分子束外延等工藝。
實(shí)驗(yàn)室冷阱在真空操作中的重要作用：
1.提高真空效率
真空室中的油氣和水汽，靠產(chǎn)品的低溫使其冷凝成液，減少對(duì)真空度的影響。冷凍真空干燥是常見的干燥方法，以1g冰為例，在0.1Torr時(shí)產(chǎn)生可以產(chǎn)生10000L水汽。干燥箱內(nèi)的水分將產(chǎn)生數(shù)量巨大的水汽。這些水汽如果僅靠真空泵來(lái)排除，真空泵的工作效率將會(huì)降的極低。它的低溫可以將水汽在產(chǎn)品部位直接凝結(jié)，從而提高真空泵的工作效率。這就是低溫干燥箱，低溫離心濃縮儀都要配備這款產(chǎn)品的原因。
2.減少腐蝕性試氣體真空泵的影響
抽真空體系中，經(jīng)常會(huì)有腐蝕性試劑的存在。腐蝕性試劑在抽真空過(guò)程中會(huì)轉(zhuǎn)化為氣體分子通過(guò)管路流經(jīng)真空泵排入大氣。腐蝕性氣體在流經(jīng)真空泵時(shí)，可能會(huì)對(duì)真空泵造成的損傷，如：酸性氣體會(huì)腐蝕真空泵的金屬部件。腐蝕性氣體經(jīng)過(guò)真空泵的排氣口，如果直接排入大氣，也會(huì)對(duì)空氣造成污染。