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氣體微量流量計是依據(jù)吸收熱的速度直接與質量流量相關的原理
氣體計量在現(xiàn)代工業(yè)生產過程中占有重要地位，一方面，新工藝和新技術等制約其發(fā)展的關鍵領域的突破，尤其是微電子技術的迅速發(fā)展，使氣體微量流量計量由機械式向智能化、模塊化方向發(fā)展，其應用范圍得到了大的擴展;另一方面，隨著環(huán)境監(jiān)測、航空航天等應用領域對氣體計量準確度要求的不斷提高，對氣體計量可靠校準和溯源的研究越來越受到重視。
氣體微量流量計是依據(jù)吸收熱的速度直接與質量流量相關的原理，該儀表的傳感器由兩個基準級熱電阻(鉑RTD)組成。
一個是質量速度傳感器T1，一個是測量氣體溫度變化的溫度傳感器T2。當這兩個RTD置于被測氣體中時，其中傳感器T1被加熱到氣體溫度以上的一個恒定的溫差，另一個傳感器T2用于感應被測氣體溫度。
隨著氣體質量流速的增加，氣流帶走更多熱量,傳感器T1的溫度下降，要維持T1、T2恒定的溫度差，T1的加熱功率就要增大。根據(jù)熱效應的金氏定律。
移動的氣體分子撞擊熱電阻時吸收帶走熱量，流量越大，接觸熱電阻的分子越多，吸收的熱量越多，熱吸收與某種氣體的分子數(shù)，熱學特性和流動特性有關。
氣體微量流量計適用于檢測微小氣體流量，在精密半導體產業(yè)、氣體泄漏探測、真空鍍膜等領域有著廣泛的應用。
應用范圍
用于氣體微量流量計量，測量精度可達ppm級別，可適用于普通氣體、惰性氣體、稀有氣體及輕微腐蝕性氣體的測量。適用于氫能、太陽能、沼氣技術、環(huán)境微生物降解、污水處理、燃料電池等研究領域。
該流量計采用自主發(fā)明技術GasMeteringCell(GMC)，結合自主知識產權的軟件，簡便、直接測量氣體體積或質量，測量精度可達ppm級別。
可根據(jù)需要拓展為多通道，輕松實現(xiàn)平行實驗，提高工作效率和數(shù)據(jù)可靠對比性。