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| 产地类别 | 国产 | 应用领域 | 化工,生物产业,航空航天 |
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产品简介
详细介绍
等离子清洗机（等离子表面处理仪）
技术特点：
1.舱体、管路、阀体全部为不锈钢材料，耐用、防腐容易清洁。
2.实现了手动，自动两种模式任意切换的工作方式，方便用户实验
3.实现了程序化设计，预先编辑好程序，仪器可以自动完成实验
4.无需任何耗材使用成本低，无需特殊进行维护,日常使用保持仪器清洁即可
5采用电容式等离子激发，处理效果均匀，激发电极板内置样品仓内顶部悬挂
6.密闭真空环境下完成实验避免二次污染
7.40Khz射频电源,自主研发质量稳定可靠，具有自动?；すδ?。
8.灵活的参数设置和修改功能，可适应多种处理工艺。
9.实时检测和显示样品仓的真实真空度，具有1Pa的真空分辨率.
10.能够方便的接入MFC，实现对气体流量和真空度的准确控制和监测。
11.LED+金属按键控制方式，操作方便稳定可靠。
12.双气路设计可以满足更多的实验需求。
等离子清洗机（等离子表面处理仪）
技术规格参数
| YZD08-5C | |
不锈钢/石英舱体 |
Φ150 mm×L255mm |
工作气路 |
两路，可以选配MFC控制 |
射频频率 |
40KHz |
射频功率 |
10-200W/300W可选，可调 |
控制系统 |
按钮+单排LED显示，实时显示和检测舱内真空度值 |
时间范围 |
0—99分59秒连续可调 |
工作压力 |
样品仓内200Pa以内根据进气量自动调节 |
工作气体 |
空气、氧气、氮氢混合气、氩气、氮气及其他惰性气体与混合气体均可 |
进气压力 |
空气：常压 连接气体钢瓶：0.1-0.3Mpa |
工作模式 |
手动模式和程序化自动模式 |
真空泵 |
抽速：1升到5升每秒 |
输入电源 |
~220V／50Hz |
整机尺寸（D*W*H） |
552X590X295mm |
重量（约） |
24Kg |
