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1. 保持儀器整體清潔，不要處理潮濕樣品。

2. 儀器安裝位置要合適：真空泵與儀器主機(jī)的安裝高度差最好大于90厘米。

3. 運(yùn)行工藝最好是從短時(shí)間，低功率開始介入，摸索出適合自己實(shí)驗(yàn)的工藝，盡量避免一成不變的套用各種文獻(xiàn)的工藝，各種文獻(xiàn)所述工藝僅供參考。

4. 避免通入易燃和有腐蝕性氣體工作，例如氨氣和純氫氣，可以采用氮?dú)浠旌蠚鈦泶妗?/span>

5. 手動(dòng)運(yùn)行儀器時(shí)，一定要保證艙體內(nèi)真空度達(dá)到標(biāo)準(zhǔn)（60Pa）后方可通入外加氣體，給入射頻等操作。

6. 盡量避免使用一些特殊氣體，如四氟化碳，因?yàn)殚L時(shí)間使用，會(huì)導(dǎo)致碳元素大量附著在電極板，導(dǎo)致儀器效率下降，如果必須使用的話，建議采購石英艙體電感式儀器。

7. 采用浮子流量計(jì)進(jìn)氣時(shí)，盡量做到進(jìn)氣和抽氣達(dá)到一個(gè)動(dòng)態(tài)平衡，通過手動(dòng)調(diào)節(jié)流量計(jì)的進(jìn)氣旋鈕來實(shí)現(xiàn)。

8. 外接進(jìn)氣鋼瓶的進(jìn)氣壓力控制在0.1-0.3Mpa,直接進(jìn)入空氣的忽略此參數(shù)。

9. 常規(guī)儀器清潔使用酒精擦拭或者紫外照射即可。

10. 使用一段時(shí)間后，注意觀察真空泵的真空油位和渾濁程度，如果發(fā)現(xiàn)真空由過少或者渾濁請(qǐng)及時(shí)添加或者更換真空油。

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