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等離子清洗機(jī)注意事項(xiàng)

閱讀:738        發(fā)布時(shí)間:2021-11-29

等離子清洗機(jī)操作使用注意事項(xiàng)



  1. 保持儀器整體清潔,不要處理潮濕樣品。

  2. 儀器安裝位置要合適:真空泵與儀器主機(jī)的安裝高度差最好大于90厘米。

  3. 運(yùn)行工藝最好是從短時(shí)間,低功率開始介入,摸索出適合自己實(shí)驗(yàn)的工藝,盡量避免一成不變的套用各種文獻(xiàn)的工藝,各種文獻(xiàn)所述工藝僅供參考。

  4. 避免通入易燃和有腐蝕性氣體工作,例如氨氣和純氫氣,可以采用氮?dú)浠旌蠚鈦?lái)代替。

  5. 手動(dòng)運(yùn)行儀器時(shí),一定要保證艙體內(nèi)真空度達(dá)到標(biāo)準(zhǔn)(60Pa)后方可通入外加氣體,給入射頻等操作。

  6. 盡量避免使用一些特殊氣體,如四氟化碳,因?yàn)殚L(zhǎng)時(shí)間使用,會(huì)導(dǎo)致碳元素大量附著在電極板,導(dǎo)致儀器效率下降,如果必須使用的話,建議采購(gòu)石英艙體電感式儀器。

  7. 采用浮子流量計(jì)進(jìn)氣時(shí),盡量做到進(jìn)氣和抽氣達(dá)到一個(gè)動(dòng)態(tài)平衡,通過(guò)手動(dòng)調(diào)節(jié)流量計(jì)的進(jìn)氣旋鈕來(lái)實(shí)現(xiàn)。

  8. 外接進(jìn)氣鋼瓶的進(jìn)氣壓力控制在0.1-0.3Mpa,直接進(jìn)入空氣的忽略此參數(shù)。

  9. 常規(guī)儀器清潔使用酒精擦拭或者紫外照射即可。

  10. 使用一段時(shí)間后,注意觀察真空泵的真空油位和渾濁程度,如果發(fā)現(xiàn)真空由過(guò)少或者渾濁請(qǐng)及時(shí)添加或者更換真空油。



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