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真空井式坩堝爐詳細參數(shù)及原理
本設(shè)備是由石英坩堝（或氧化鋁陶瓷坩堝）和不銹鋼法蘭組成的真空坩堝爐。主要用于煅燒真空或惰性氣體保護下的高純度化合物或擴散半導(dǎo)體晶片，也可用于烘燒或燒結(jié)陶瓷材料。
真空井式坩堝爐參數(shù)說明
型號 | AFD-1200T | AFD-1400T | AFD-1700T |
工作溫度 | ＞1200℃ | ＞1400℃ | ＞1700℃ |
加熱元件 | 電阻絲 | 硅碳棒 | 硅鉬棒 |
熱電偶 | K型 | S型 | B型 |
控溫方式 | 31段可編程自動控制，PID調(diào)節(jié)控溫度 | ||
升溫速率 | 0-10℃ | 0-20℃ | |
控溫度 | ±1℃ | ||
大真空度 | -0.1MPa | ||
爐膛材料 | 氧化鋁陶瓷纖維板 | ||
爐殼 | 雙層爐殼，風(fēng)冷結(jié)構(gòu)（爐底安裝兩個散熱風(fēng)扇），爐殼表面溫度低于60度 | ||
額定功率 | 1KW—8KW | ||
常用爐膛尺寸 | Φ240xH220mm；Φ40xH300mm；Φ60xH300mm； Φ80xH300mm；Φ100xH300mm；Φ120xH300mm | ||