THERMOVAC TTR91N真空計(jì)

Werne+Thiel FS1-30-G80-X-K-I4/1

KNF PJ14896.86

tecumseh CAE4440Y Tecumseh AE 4440Y-FZ1A-DCAE

HS-COOLER KS25-BCV-421  L2400

drei bond    F9-3   4.220.02.1023.030 離心盤(pán)

HONSBERG CM2K-025HM-SR  Honsberg  943762   CM2K-025HM

stanhope-seta Shell Capsules (pack of 160) Part Number 86500-001

SARASIN-RSBD 9BX4HFFU5    1.52MPA

SARASIN-RSBD 9BX4HFFU5    1.0MPA

SARASIN-RSBD 9BX4HFFU5    1.68MPA

SARASIN-RSBD 9BX4HFFU5     0.57MPA

MILS  3.56832+3.56833+3.56834 泵的型號(hào)EVISA  E100 HV

ABB AC-2 FZ5103 48/450

Atlas Copco LBB  36 H026-U  A3383289 only drilling part needed, no connector required and part mentioned in photo not needed / Atlas Copco LBB 36 H026U PNEUMATIC DRILL

Jakob Antriebstechnik IHE 100 nr：04011286/12032043 編碼器Jakob IHE 100 Art.-Nr. 040 - 11286

M+C TechGroup Germany F-2GF 90F0011X

TUENKERS PKS16.1A00T03105Grad 夾鉗氣缸 

abb 90P1007 Tube Set for peristaltic pump SR25 

按照真空計(jì)測(cè)量原理所利用的不同的物理機(jī)制，可將主要的真空計(jì)分為三大類(lèi)，分別是利用力學(xué)性能、利用氣體動(dòng)力學(xué)效應(yīng)和利用帶電粒子效應(yīng)的真空計(jì)。

利用力學(xué)性能的真空計(jì)典型的有波爾登規(guī)（Bourdon）和薄膜電容規(guī)；利用氣體動(dòng)力學(xué)效應(yīng)的典型真空計(jì)有皮拉尼（Pirani）電阻規(guī)和熱電偶規(guī)；利用帶電粒子效應(yīng)的典型真空計(jì)有熱陰極電離規(guī)和冷陰極電離規(guī)。

波爾登規(guī)

波爾登規(guī)

如右圖所示，細(xì)的銅管受氣體壓力不同會(huì)有舒展現(xiàn)象，會(huì)帶動(dòng)杠桿和齒輪旋轉(zhuǎn)，使得指針指示在不同刻度上，即可讀出相應(yīng)的氣壓值。

這種規(guī)的測(cè)量范圍一般在100Pa至1atm。

薄膜電容規(guī)

薄膜電容規(guī)

如右圖所示，在不同壓力下金屬膜片受力不同會(huì)有不同尺度的變形，使得金屬膜片和電極之間的電容變化，通過(guò)測(cè)量電容的變化量，即可知道金屬膜片上氣壓的變化。

這種規(guī)的測(cè)量范圍一般橫跨4個(gè)量級(jí)，比如可能是0.01Pa至100Pa、0.1Pa至1000Pa等。

這種規(guī)的優(yōu)點(diǎn)是靈敏度很高。缺點(diǎn)是必須在高于環(huán)境溫度的恒溫條件下使用，以消除溫度不同對(duì)膜片力學(xué)性能的影響，使用前一般需要預(yù)熱數(shù)小時(shí)。

皮拉尼電阻規(guī)

皮拉尼電阻規(guī)

也叫做熱電阻真空計(jì)，它是利用電阻與溫度之間關(guān)系的原理工作的。

如右圖所示，由于不同氣壓下氣體分子熱傳導(dǎo)能力不同，當(dāng)給熱絲加恒定的電流時(shí)，由于氣壓不同通過(guò)氣體傳導(dǎo)走的熱量不同，熱絲所保持的溫度就不同，這導(dǎo)致熱絲電阻大小不同，通過(guò)測(cè)量熱絲電阻大小就可以推算氣壓大小。

THERMOVAC TTR91N真空計(jì)