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详细介绍
半导体冷水机是指应用在半导体领域，随着科技的不断发展，它的出现以及广泛应用，使得现代超精密制造、加工、测量仪器对工作环境提出了苛刻要求，尤其是以光刻机为代表的超大规模集成电路制造设备。半导体冷水机-高低温测试
其高集成度导致常规散热方法远不能满足要求，同时投影物镜的光刻质量、运动部件的定位精度以及测量装置的测量精度等都对环境参数的变化特别是温度的变化尤为敏感。因此，环境参数尤其是温度的控制成为一项关键问题，而半导体冷水机的出现正好解决了这一难题。半导体冷水机-高低温测试
德偲产品优势：
1、液晶控制器面板实现本地+远程控制模式。
2、装载自动故障保障功能，可对外输出相应信号，确保设备工作安全性。
3、主要零件均采用品牌，质量保证。
4、外形美观，表面采用高压静电喷塑处理。
5、可根据具体需求添加辅助设备
| 型号 | DES-4525 | DES-4555 | DES-45A10 | DES-45A15 | DES-45A25 | |
| DES-4525W | DES-4555W | DES-45A10W | DES-45A15W | DES-45A25W | ||
| 温度范围 | -45℃～250℃ | -45℃～250℃ | -45℃～250℃ | -45℃～250℃ | -45℃～250℃ | |
| 加热功率 | 2.5kw | 5.5kw | 10kw | 15kw | 25kw | |
| 制冷量 | AT 250℃ | 2.5kw | 5.5KW | 10KW | 15KW | 25KW |
| AT 100℃ | 2.5kw | 5.5KW | 10kw | 15KW | 25KW | |
| AT 20℃ | 2.5KW | 5.5KW | 10KW | 15KW | 25KW | |
| AT 0℃ | 1.8KW | 5KW | 10KW | 15KW | 25KW | |
| AT -20℃ | 0.85KW | 2.9KW | 6KW | 11KW | 16KW | |
| AT -40℃ | 0.25KW | 0.9KW | 2KW | 3.8KW | 5.3KW | |
| 导热介质温控精度 | ±0.3℃ | ±0.3℃ | ±0.3℃ | ±0.3℃ | ±0.3℃ | |
| 系统压力显示 | 制冷系统压力采用指针式压力表实现（高压、低压） | |||||
| 循环系统压力采用压力传感器检测显示在触摸屏上 | ||||||
| 控制器 | 西门子PLC，模糊PID控制算法，具备串级控制算法 | |||||
| 温度控制 | 导热介质出口温度控制模式 | |||||
| 外接温度传感器：（PT100或4～20mA或通信给定）控制模式（串级控制） | ||||||
| 可编程 | 可编制10条程序，每条程序可编制45段步骤 | |||||
| 通信协议 | 以太网接口TCP/IP协议 | |||||
| 设备内部温度反馈 | 设备导热介质出口温度、介质进口温度、制冷系统冷凝温度、环境温度、压缩机吸气温度、冷却水温度（水冷设备有） | |||||
| 外接入温度反馈 | PT100或4～20mA或通信给定 | |||||
| 串级控制时 | 导热油出口温度与外接温度传感器的温度差可设定可控制 | |||||
| 温差控制功能 | 设备进液口温度与出液口温度的温度差值可设定可控制（?；は低嘲踩?/td> | |||||
| 密闭循环系统 | 整个系统为全密闭系统，高温时不会有油雾、低温不吸收空气中水份，系统在运行中不会因为高温使压力上升，低温自动补充导热介质。 | |||||
| 加热 | 指系统大的加热输出功率（根据各型号） | |||||
| 加热器有三重?；?，独立温度限制器，确保加热系统安全 | ||||||
| 功率大于10KW采用调压器，加热功率输出控制采用4～20mA线性控制 | ||||||
| 制冷能力 | 指在不同的温度具备带走热量的能力（理想状态下），实际工况需要考虑环境散热，请适当放大，并且做好保温措施。 | |||||
| 循环泵流量、压力 | 采用德偲磁力驱动泵/德国品牌磁力驱动泵 | |||||
| max | 20L/min2.5bar | 50L/min2.5bar | 50L/min2.5bar | 110L/min2.5bar | 150L/min2.5bar | |
| 压缩机 | 法国泰康 | 艾默生 | 艾默生/丹佛斯 | 艾默生/丹佛斯 | 艾默生/丹佛斯 | |
| 蒸发器 | 采用DANFOSS/高力板式换热器 | |||||
| 制冷附件 | 丹佛斯/艾默生配件（干燥过滤器、油分离器、高低压保护器、膨胀阀） | |||||
| 操作面板 | 定制7英寸彩色触摸屏，温度曲线显示EXCEL 数据导出 | |||||
| 安全防护 | 具有自我诊断功能；相序断相?；て?、冷冻机过载?；?；高压压力开关，过载继电器、热?；ぷ爸玫榷嘀职踩Ｕ瞎δ?。 | |||||
| 制冷剂 | R-404A / R507C | |||||
| 接口尺寸 | G1/2 | G3/4 | G3/4 | G1 | DN32 PN10 RF | |
| 外型尺寸（风）cm | 45*85*130 | 55*95*170 | 70*100*175 | 80*120*185 | 100*150*185 | |
| 外型尺寸（水）cm | 45*85*130 | 45*85*130 | 55*95*170 | 70*100*175 | 80*120*185 | |
| 风冷型 | 采用铜管铝翅片冷凝方式，上出风型式，冷凝风机采用德国EBM轴流风机 | |||||
| 水冷型 W | 带W型号为水冷型 | |||||
| 水冷冷凝器 | 套管式换热器（帕丽斯/沈氏 ） | |||||
| 冷却水量 at 25℃ | 0.6m3/h | 1.5m3/h | 2.6m3/h | 3.6m3/h | 7m3/h | |
| 电源 380V50HZ | 4.5kw max 220V | 9kw max | 16kw max | 23kw max | 36kw max | |
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