原位MEMS-STM-TEM多场测量系统,该产品是一种革命性的原位透射电子显微镜实验系统，使研究者可以在透射电子显微镜中构建一个可控的多场环境（包括力、热、光、电等），从而对材料或者器件等样品实现多重激励下的原位表征。

性能指标

透射电镜指标：

● 兼容电镜型号及极靴；

● 可选双倾版本，双倾电学测量样品杆Y轴倾角±25°（同时受限于极靴间距）；

电学测量指标：

● 包含一个电流电压测试单元；

● 电流测量范围：１ nA-30 mA，9个量程；

● 电流分辨率：优于100 fA；

● 电压输出范围：普通模式±10 V，高压模式±150 V；

● 自动电流-电压（I-V）测量、电流-时间（I-t）测量，自动保存。

扫描探针操纵指标：

● 粗调范围：XY方向2.5 mm，Z方向1.5 mm；

● 细调范围：XY方向18 um，Z方向1.5 um；

● 细调分辨率：XY方向0.4 nm，Z方向0.04 nm。

光纤指标：

● 多模光纤外径250 um，保证电镜系统真空指标；

● 可选光纤探针、平头光纤；

● 配备快速SMA接头、FC接头；

加热指标：

● 温度范围：室温到1000 ℃；

● 温度准确度优于 5% ；

● 温度稳定性：优于±0.1 ℃。

产品特色

可通过简单更换MEMS芯片种类以及不同STM探针为样品施加多四种激励，实现多种复杂的测试功能，完成以往无法实现的研究。

（1）高温拉伸/压缩（加热芯片+电学STM探针）；

（2）热电子发射/场发射（加热芯片+电学STM探针）；

（3）三端器件测量（电学芯片+电学STM探针）；

（4）电致发光现象研究（电学芯片+光学STM探针）；

（5）光电现象研究（电学芯片+光学STM探针）。