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Sievers Boron Ultra超纯水硼分析仪:新功能

阅读:214      发布时间:2025-03-05
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Sievers Boron Ultra在线型UPW硼分析仪是新一代的超纯水(UPW,Ultrapure Water)硼分析仪,能检测万亿分之一(ppt)的溶解硼浓度。Boron Ultra分析仪是市面上仅有的一款实时在线型硼分析仪,帮助许多微电子制造商和超纯水系统拥有者连续监测硼控制工艺,满足“国际器件与系统路线图(IRDS,International Roadmap for Devices and Systems)"有关超纯水的规格要求(即50 ppt)。

Sievers Boron Ultra分析仪能够检测到二氧化硅释放前硼的增加,有助于防止二氧化硅泄漏到超纯水中。此款分析仪能够主动检测到从工艺(如混合树脂床离子交换工艺和电子去离子化工艺)中释放出来的二氧化硅和其它离子污染物,从而帮助用户提高有效产出和降低离子交换工艺成本。

本文件介绍新款Sievers Boron Ultra的主要亮点,以及与旧款硼分析仪的比较。


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威立雅Sievers分析仪

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