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Sievers* 500 RLe 在线TOC 分析仪的特点介绍,参数和应用。

Sievers* 500 RLe 在线TOC分析仪是半导体工业的在线、无试剂的TOC分析仪，能够准确测定引起问题的化合物，例如尿素、*基胺（TMA）、有机酸与有机碱。
在线总有机碳（TOC，Total Organic Carbon）分析仪应尽可能简单，但是不能简单到，将制造操作暴露在不可预期的风险中，并且存在检测不到的有机中间产物。近，某家领导性的半导体液浸式光刻工具生产商已经要求，其光刻工具给水的所有TOC检测要包含准确的超纯水（UPW）中的有机氮化合物的检测。一些品牌的TOC分析仪不能检测到超纯水中普遍存在的有机氮化合物，比如尿素，或*基胺TMA1,2。500RLe能够准确、重复性很好测定这些化合物，满足此项新的TOC性能要求。

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