SEM:掃描電子顯微鏡(Scanning Electron Microscope ,縮寫 為SEM),簡稱掃描電鏡,是利用細(xì)聚焦電子束在樣品表面掃 描時激發(fā)出來的各種物理信號來調(diào)制成像的一種常用的顯微分析儀器。
SEM原位冷熱臺是一種在掃描電子顯微鏡(SEM)標(biāo)準(zhǔn)樣品臺上(無需改造電鏡內(nèi)部),提供樣品原位變溫測試的電鏡附件。通過外接法蘭裝置實現(xiàn)對冷熱臺上的樣品進(jìn)行控溫,穩(wěn)定后溫控精度可達(dá)±0.1℃ 可實現(xiàn)樣品變溫測試的溫度范圍:蔡康SEM原位冷熱臺-196~200℃ / -196~200℃/-120-600℃/RT-1500℃,滿足原位高低溫材料相變微觀表征。SEM原位冷熱臺適合于各種樣品在SEM中進(jìn)行高低溫結(jié)構(gòu)研究,固定在現(xiàn)有樣品臺上,還可以加上探針構(gòu)成探針冷熱臺。支持在現(xiàn)有各種掃描電子顯微鏡(日立、國儀量子等)適配。
蔡康SEM原位冷熱臺特點(diǎn):
(1)通過加熱和制冷可實現(xiàn)快速升降溫
(2)控溫精度高±0.1℃,可程序階梯控溫,溫控范圍寬(-196~200℃ / -196~200℃/-120-600℃/RT-1500℃)
(3)能在較大的電子束流下獲得高質(zhì)量圖像
(4)可定制SEM樣品架,使用過程簡單
(5)制冷完成測試后可快速(60℃/min)升溫達(dá)到室溫,正常更換樣品,測試效率高。
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