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高分辨率、大范围
采用*的算法，实现垂直方向分辨率0.01 nm（Phase模式下）。由于无需依赖于物镜的倍率即可实现较高的垂直方向分辨率，即使是大范围（大测量视野6.4 mm × 6.4 mm）的情况下，也能测量纳米尺度的粗糙度、高差。

测量数据的重现性高
高度测量使用干涉条纹，将Z驱动产生的影响控制在小程度，从而实现测量重现性误差低于0.1%（Phase模式下）。