1、深冷空分制氮，即把壓縮空氣液化，通入分餾塔，然后利用氧氣、氮?dú)獾姆悬c(diǎn)不同，分離出氮?dú)猓兌然竟潭ㄔ?9.9995%）和富氧（35％的氧氣＋氮?dú)猓Ｉ罾浞蛛x是成熟的工藝，一般適合于大型空分，且由于啟動(dòng)時(shí)間在2個(gè)小時(shí)以上，啟動(dòng)成本高，所以對(duì)用氣連續(xù)性要求很高。適合大型用氮，純度要求高，用氣連續(xù)波動(dòng)少的用戶。

2、膜分離制氮，即通過膜對(duì)氮?dú)狻⒀鯕馔ㄟ^的選擇性不同制氮的。氮?dú)饧兌纫话?5％左右，膜分離制氮技術(shù)還不是很成熟，市場(chǎng)應(yīng)用不多。

3、變壓吸附制氮（PSA），即利用分子篩不同壓力下對(duì)氮?dú)狻⒀鯕獾奈铰什煌频?。這也是適合小型制氮的技術(shù)。經(jīng)濟(jì)制氮的純度范圍可以在99～99.9％。