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當(dāng)前位置：南京惠言達電氣有限公司>>技術(shù)文章>>供應(yīng)WASCO真空傳感器Barracuda
Wasco的Barracuda系列高純度(UHP)傳感器專為在苛刻的市場應(yīng)用中需要檢測腐蝕性介質(zhì)的應(yīng)用而設(shè)計。這些傳感器非常適合檢測氣體或液體介質(zhì)，而不會對過程介質(zhì)造成污染。該系列非常適合要求在高精度、嚴(yán)格公差應(yīng)用中檢測腐蝕性介質(zhì)的系統(tǒng)。
我們?yōu)橄乱淮雽?dǎo)體加工設(shè)備中的高腐蝕性環(huán)境設(shè)計了這些傳感器。梭魚系列的額定應(yīng)用周期超過10，000，000。梭魚擁有滿足或超過SEMI F20 (UHP)的材料，臨界點蝕溫度性能> 35℃。所有傳感器都經(jīng)過氦泄漏測試，達到每SEMI F1≤1 x 10-9標(biāo)準(zhǔn)立方厘米/秒氦。
煤氣箱
IGS氣體面板
氣體分配系統(tǒng)
閥門歧管箱
蝕刻和沉積系統(tǒng)
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