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瑞研光學(xué)小課堂:光學(xué)元件表面平面度概念講解

閱讀:4519        發(fā)布時(shí)間:2019/6/17
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瑞研光學(xué)小課堂:光學(xué)元件表面平面度概念講解

 

表面平面度是一種測量表面精度的規(guī)格類型,它用于測量反射鏡、窗口片、棱鏡表面等平面的偏差。

瑞研光學(xué)一般使用光學(xué)平晶來測量此偏差,如果是鍍膜產(chǎn)品,一般是膜之前要檢測表面精度,光學(xué)平晶是一種高質(zhì)量、高精度的參考平面,是一種標(biāo)準(zhǔn)件,用于比較試樣的平滑度。當(dāng)所測試的光學(xué)產(chǎn)品的平面靠著光學(xué)平晶放置時(shí),會(huì)出現(xiàn)條紋,其形狀表示所檢測的光學(xué)產(chǎn)品的表面平滑度。如果這些條紋間隔相等,并且是平行的直線,那么被檢測的光學(xué)表面至少像參考光學(xué)平晶一樣平展。如果條紋是彎曲的,則兩個(gè)虛線(一個(gè)虛線與條紋中點(diǎn)相切,另一個(gè)虛線穿過同一個(gè)條紋的端點(diǎn))之間的條紋數(shù)量會(huì)指出平滑度錯(cuò)誤。

平滑度的偏差通常是按波紋值(λ)來測量的,它們是由多個(gè)波長的測試源組成。一個(gè)條紋對(duì)應(yīng)½的波長。平滑度為1λ,則表示一般的質(zhì)量級(jí)別;平滑度為λ/4,則表示的質(zhì)量級(jí)別;平滑度為λ/20,表示高精度的質(zhì)量級(jí)別。

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