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| 產(chǎn)地類別 | 進(jìn)口 |
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INFICON 射頻傳感技術(shù)能夠為半導(dǎo)體過程工具提供高度準(zhǔn)確、寬頻、頻率判別式射頻測量。通過此射頻數(shù)據(jù)，可以詳細(xì)了解過程開發(fā)和生產(chǎn)過程問題中的實(shí)際等離子狀態(tài)，大幅降低過程變異性。
產(chǎn)品簡介
詳細(xì)介紹
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通過測量基本和諧波電壓和電流(包括相角測量)并對其進(jìn)行分析來預(yù)測晶片計量結(jié)果,這樣工程師就能控制所處理的每個晶片的實(shí)際晶片結(jié)果 現(xiàn)在強(qiáng)大算法性能與射頻傳感技術(shù)*結(jié)合,可以基于實(shí)時測量以及易于理解的用戶界面所提供的相關(guān)性分析,顯著提高半導(dǎo)過程的可重復(fù)性 穩(wěn)定性和準(zhǔn)確性
公司經(jīng)營品牌：GE druck, GE Panametrics,GE Bently,Wika,HBM,Tektronix,BEAMEX,SIKA,E+E，美國華瑞RAE,梅思安MSA，德爾格Draeger，德國IKA，美國奧豪斯，美國哈希hach,安捷倫等品牌，派克Parker,阿托Atos,力士樂Rexroth,哈威Hawe，德國KK,英國Time Electronics,美國斯坦福,英國密其，德國LR-Cal,德國Schleich,澳大利TPS,德國卡爾德意志等進(jìn)口品牌