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上海謹通儀器儀表有限公司

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當前位置：> 供求商機> HOTMOS-1000-半導體微量光子檢測顯微鏡

[供應]HOTMOS-1000-半導體微量光子檢測顯微鏡

貨物所在地：上海上海市

更新時間：2025-05-11 21:00:21

有效期：2025年5月11日 -- 2025年11月11日

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半導體微量光子檢測顯微鏡
微光顯微鏡是捕獲半導體器件缺陷或失效點發(fā)射
微量光子的一種無損檢測設備。在電激勵作用下，電
子-空穴對或高能熱載子以光子的形式釋放出多余動
能。根據(jù)此原理，利用高增益低噪聲的相機就能精確
定位到缺陷位置。EMMI系統(tǒng)C主要適用于PN結漏電、氧化層崩潰、
靜電放電破壞、閂鎖效應、碰撞電離和雪崩擊穿等多
種物理場景。

半導體微量光子檢測顯微鏡

半導體微量光子檢測顯微鏡


產(chǎn)品特征參數(shù)


軟件圖像處理功能

8寸高壓手動氣浮探針臺



紫外、可見光、紅外顯微光學系統(tǒng)

2倍、5倍、10倍、20倍與50倍紅外物鏡

400 -1000 nm 或900-1700 nm響應波長

支持3000 V高壓偏置

相機與源表的一體化控制程序

應用方向

GaN與SiC 基功率器件

的漏電“熱點"定位

GaN基LEDs與結型探測

器的漏電“熱點"定位

Si基MOSFET與IGBT等功

率器件的漏電失效“熱

點"定位

GaAs基激光器光分布與

漏電“熱點"定位

常規(guī)的器件的靜態(tài)電學

參數(shù)測試。

相關系列有關于芯片失效與缺陷檢測都可以聯(lián)系我司，可看樣機測試









 

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