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测 试 原 理
通过软件程序控制，让x射线发生路产生适合的x射线去激发測试薄膜材料中的si 或者其他元素，被x 射线激发后变为不稳定态,高能层的电子会跃迁到空穴井同时释放特定能量被探测器接收,因每个元素都有自已特定的能量特征线,通过探测器的识别,计算机软件的计算,即可准确识别该元素,并计算出含量。·仅器采用了大面积的品体硅漂移探测器,分辨率能够达到 125eV,能分辨 AK铝)元素和si(硅)元素。
技 术 特 点
测试采用x射线荧光光谱原理,测试过程无需耗材
·光管垂直照射,硅元素性能得到更强激发
测试下限好,可准确测量 0.01ghn' 的涂硅量
·采用大面积硅漂移探测器,测试结果极其准确
配置高清液品显示器,测试过程和测试结果一目了然
设备集成多个 u 接口,数据和通讯传输满足多种要求
空气光路内部环境得到显著优化,大气环境一样可以直接测试
一键测试/操作简单智能,测试过程使用时间更短,结果更准确
快速采用新的模型算法,大大提高了轻元素的测量稳定性
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