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半导体/FPD/工业检测显微镜MX63/MX63L

阅读:1360      发布时间:2019-1-30
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现今智能手机产业的蓬勃发展带动了包括半导体、平板显示(FPD)、印制电路板(PCB)等整个电子制造业的飞速进步。奥林巴斯新推出的MX63和MX63L工业检测显微镜具备优异的光学性能、适合大样品的检测、先进的人体工学设计等诸多将会有助电子制造行业的发展更上一层楼。
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的MX63/MX63L显微镜具备有如下的特点:

从不可见到可见:MIX观察与采集

 

新MX63/MX63L显微镜是该系列支持奥林巴斯MIX照明功能的产品,由此进一步提升了该显微镜的观察能力。MIX可将暗场与明场、荧光或偏振等其他观察方法结合使用。在很多应用中,MIX能够帮助用户观察到使用传统显微镜难以看到的缺陷。

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长寿命高强度白色LED照明:始终一致的色温

 

MX63/MX63L显微镜配备了高强度白光LED光源,兼顾低功耗和长寿命的优点,而且其稳定的色温为可靠的图像质量和的色彩复现提供了保障。

 

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功能性:适合所有晶园尺寸

 

MX63/MX63L显微镜特别适用于半导体、平板显示、印制电路板等行业的大尺寸样品检测。MX63可用于大晶圆直径200mm,MX63L可用于大晶圆直径300mm。此外,新显微镜还可以选配晶园搬送机,实现可靠、安全、的对晶圆正面和背面进行检测。

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MX63/MX63L显微镜的??榛杓迫眉觳庹吣芄桓萦τ眯枰≡褡榧A娇钕晕⒕稻唇嗑皇矣τ枚杓?,并符合SEMI S2/S8CEUL要求。所有电动组件均安装在屏蔽结构内,镜架、镜筒以及其他部件均经过防静电处理。

 

人性化:满足人体工学的设计

 

MX63/MX63L显微镜采用人体工学设计,可以快速设置调整和简易控制。更换物镜以及调整孔径光阑的控制位于显微镜前面较低的位置,因此用户在使用过程中可始终保持透过目镜观察而无须松开对焦旋钮。电动物镜转盘旋转迅速,在缩短检测间隔时间的同时还可让操作者的手始终在晶圆下方,降低可能存在的污染风险。

 

凭借这些的观察功能和简单的操作特性,MX63/MX63L显微镜能够实现快速的实现大尺寸样品检测。

 

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