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1.緊湊的結(jié)構(gòu)
2.兼容高倍率金相顯微鏡，可微調(diào)移動
3.高等院校/研究所/工業(yè)用戶實(shí)驗(yàn)室使用
4.大可用于12英寸以內(nèi)樣品測試
5.精密絲杠傳動結(jié)構(gòu)，線性移動
6.無回程差設(shè)計(jì)
7.1微米以上電極/PAD測試
8.VCSEL/LD/LED/PD的光譜波長/光功率測試
9.VCSEL/LD/LED/PD 的LIV特性測試
10.器件的高頻特性測試（≥300GHz頻率）
產(chǎn)品簡介
詳細(xì)介紹
高分辨率晶圓測試探針臺
1.緊湊的結(jié)構(gòu)
2.兼容高倍率金相顯微鏡，可微調(diào)移動
3.高等院校/研究所/工業(yè)用戶實(shí)驗(yàn)室使用
4.大可用于12英寸以內(nèi)樣品測試
5.精密絲杠傳動結(jié)構(gòu)，線性移動
6.無回程差設(shè)計(jì)
7.1微米以上電極/PAD測試
8.VCSEL/LD/LED/PD的光譜波長/光功率測試
9.VCSEL/LD/LED/PD 的LIV特性測試
10.器件的高頻特性測試（≥300GHz頻率）
主要技術(shù)指標(biāo)
型號 | LS-WPS100-SE | LS-WPS150-SE | LS-WPS200-SE | LS-WPS300-SE | ||
外形 | 580mm長* 620mm寬* 730mm高 | 600mm長* 700mm寬* 730mm高 | 660mm長* 660mm寬* 700mm高 | 1030mm長* 820mm寬* 730mm高 | ||
重量 | 約70公斤 | 約80公斤 | 約85公斤 | 約180公斤 | ||
電力需求 | 220VC, 50~60Hz | |||||
樣品臺 | 尺寸 | 4英寸，可360度旋轉(zhuǎn) | 6英寸，可360度旋轉(zhuǎn) | 8英寸，可360度旋轉(zhuǎn) | 12英寸，可360度旋轉(zhuǎn) | |
X-Y行程 | 4*4英寸 | 6*6英寸 | 8*8英寸 | 12*12英寸 | ||
Z軸行程 | 6mm（快速切換）/6mm（微調(diào)） | |||||
移動精度 | 10um/1um | |||||
樣品固定方式 | 真空吸附 | |||||
背電極測試功能 | 有，樣品臺電學(xué)獨(dú)立懸空 | |||||
針座平臺 | U型平臺，多可放置6個針座 | U型平臺，多可放置8個針座 | U型平臺，多可放置10個針座 | U型平臺，多可放置12個針座 | ||
光學(xué)特性 | 顯微鏡行程 | X-Y軸行程2英寸*2英寸，Z軸：50.8mm | ||||
顯微鏡移動精度 | 1um | |||||
切換鏡頭方式 | 顯微鏡快速傾仰30度 | |||||
放大倍數(shù) | 16~100X/20~4000X | |||||
鏡頭規(guī)格 | 目鏡：10X；物鏡：5X，10X，20X，50X，100X（選配） | |||||
CCD像素 | 50W（模擬）/200W（數(shù)字）/500W（數(shù)字） | |||||
點(diǎn)針規(guī)格 | X-Y-Z行程 | 12mm-12mm-12mm/8mm-8mm-8mm | ||||
機(jī)械精度 | 10微米/2微米/0.7微米/0.1微米 | |||||
漏電精度 | 10pA/100fA（配置屏蔽箱時） | |||||
接口形式 | 香蕉頭/鱷魚夾/同軸/叁軸接口 | |||||
應(yīng)用方向 | VCSEL芯片及LD/LED/PD測試，PCB/封裝器件測試，射頻測試等。 | |||||