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關(guān)于晶圓測試探針臺組成介紹
閱讀：740 發(fā)布時間：2020-7-20
探針臺主要應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè)、光電行業(yè)、集成電路以及封裝的測試。廣泛應(yīng)用于復(fù)雜、高速器件的精密電氣測量的研發(fā)，旨在確保質(zhì)量及可靠性，并縮減研發(fā)時間和器件制造工藝的成本。
晶圓測試探針臺是專門用于晶圓片在磁場作用下的表征和測試的儀器，它使用磁場發(fā)生器和*的可定制硬件，通過高精度定位平臺、高剛性晶圓承載臺和高分辨率探針相機及俯視相晶圓相機，實現(xiàn)全自動上下晶圓、對針和高精度測試。為磁性器件（傳感器和存儲器）的開發(fā)、工藝和生產(chǎn)帶來了完整的測試解決方案。
晶圓測試探針臺組成介紹：
探針臺的主要功能組件說明：探針臺本體、顯微鏡、探針座、探針夾具及探針、線纜、屏蔽箱、防震桌、真空泵、視頻成像裝置
1.根據(jù)所需測試的樣品尺寸以及電信號測試，選擇不同的探針臺本體。
2.顯微鏡的選擇，主要根據(jù)所量測樣品的分辨率要求選型，可選體式顯微鏡、高倍金相顯微鏡、激光功能顯微鏡，單筒顯微鏡等。
3.探針座根據(jù)移動精度及固定方式選擇，固定方式分為磁吸附，真空吸附，機械式固定以及固定式磁吸附基底。
4.探針夾及探針具根據(jù)測試樣品的信號類型選擇，可分為：直流、高頻、微波、射頻、微波，微電流、高壓、高電流等。
5.線纜部分配合探針夾具類型選擇。
6.屏蔽箱用于屏蔽光及電磁信號，提高量測精度。
7.防震桌減少振動，特別是在高倍率情況下的高頻量測使用效果較為明顯。
8.真空泵輔助真空卡盤及真空吸附探針座使用。
9.視頻成像裝置。