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能研8745 - 氣體流量控制器的使用說明
閱讀：798 發(fā)布時間：2024-5-22以下是一份氣體質(zhì)量流量控制器的一般使用說明：
一、安裝
1. 選擇合適的安裝位置，確保環(huán)境溫度、濕度等符合設(shè)備要求。
2. 按照設(shè)備手冊正確連接氣體入口和出口管路，注意密封良好。
二、預(yù)熱
在使用或長時間未使用后，需進(jìn)行適當(dāng)時間的預(yù)熱，以確保測量準(zhǔn)確性。
三、設(shè)置與操作
1. 通過控制面板或配套軟件設(shè)置所需的流量值。
2. 可根據(jù)需要選擇不同的單位（如 SCCM、SLPM 等）。
3. 確認(rèn)設(shè)定的氣體類型與實際使用的氣體相符。
四、運行與監(jiān)測
1. 開啟氣體供應(yīng)，觀察流量顯示是否穩(wěn)定在設(shè)定值附近。
2. 定期檢查顯示數(shù)值與實際需求是否一致。
五、維護(hù)與保養(yǎng)
1. 定期清潔設(shè)備表面，防止灰塵等雜質(zhì)影響性能。
2. 按照規(guī)定的時間間隔進(jìn)行校準(zhǔn)，以保證測量精度。
3. 如發(fā)現(xiàn)故障或異常，應(yīng)及時停止使用并聯(lián)系專業(yè)人員維修。
六、注意事項
1. 嚴(yán)格按照設(shè)備規(guī)定的壓力、溫度范圍操作。
2. 避免強烈震動和沖擊。
3. 對不同氣體可能需要特定的使用要求，務(wù)必遵循相關(guān)規(guī)定。