Ulvac爱发科真空泵滑阀泵维修保养

滑阀式真空泵常见故障消除与维修

滑阀泵的常见故障与消除方法

滑阀泵的操作与维护可参照旋片泵，其故障和消除方法见表7。由于滑阀泵的结构与旋片泵不同，大修时拆装程序有些差异，可按下述步骤进行。

表7 滑阀泵常见故障及消除方法滑阀泵的维修

Ulvac爱发科真空泵滑阀泵维修保养

1：放出冷却水和泵油，拆下皮带防护罩，卸下三角带和皮带轮；

2：拆油箱组件，拆分离器组件，拆滤油器组件，拆排气管，拆排气阀组件，拆进气管；

3：拆油管、油泵和油泵轴；

4：拆密封装置和轴承盖，拆左右两端盖及轴承，拆滑阀组件及导轨组件；

5：拆偏心轮、平键及轴。

b.滑阀泵的装泵程序装泵程序与拆泵程序相反。

c.拆装泵的注意事项

1：不能直接用铁锤敲打加工面，拆装时防止碰伤；

2：零件装配前清洗干净并烘干；

3：泵装好后密封处不得漏气、漏油。

4：泵修目完应进行全性能的试验，如其他条件不具备，至少应试验极限真空度。