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全新上照式設(shè)計(jì),微聚焦,搭載可編程自動(dòng)位移平臺,無人值守,自動(dòng)檢測多樣品,且更加智能化,采用自主研發(fā)的AI影像識別功能可完成智能尋點(diǎn),自動(dòng)匹配測試。對各超大異形件及微小密集多點(diǎn)的測試更加高校,智能。
變焦裝置及位置補(bǔ)償算法,可對各種異形凹槽進(jìn)行無損檢測,凹槽深度范圍0-90Mm.微焦X射線裝置,搭載微聚焦X射線發(fā)生器和先進(jìn)的光路轉(zhuǎn)換聚焦系統(tǒng),最小測量面積達(dá)0.002mm2.自主研發(fā)的EFP算法,Li(3)-U(92)元素的涂鍍層,多層多元素,甚至有同種元素在不同層也可精準(zhǔn)測量。測量速度快,效率高,一鍵測試,各部件置入下位機(jī)控制,搭載可編程自動(dòng)化移動(dòng)平臺,移動(dòng)精度微米級,一次編程坐標(biāo)存儲無人值守檢測成百上千個(gè)樣品。
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