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　　当真空等离子清洗机出现报警情况时，其中有一种可能就是真空泵过载保护，在发生此类情况时，需要先检查系统参数有没有变化，因为在这种情况下，设备会中止供电，系统的各参数会归零，于是才会响起警报声。

　　

　　如果经过检查后系统参数并没有发生变化，就需要确认热继电器是否自动?；?，按复位键后启动真空等离子处理系统的真空发生系统。如无自动?；?，就需要检查电气线路是否有断路或短路情况。若是以上均无异常情况，就再检查真空泵情况。

　　

　　二、显示放空气体压力过低

　　

　　出现这种故障时，可能是气体未开启或气体已耗尽，需要检查腔体底部的破真空所用气路电磁阀是否正常工作，线路有无出现断路或短路的现象。

　　

　　三、真空泵倒计时时间故障

　　

　　当遇到此类故障时需要先检查真空泵抽真空能力，故障排除后再点击复位键，出现渗气或真空门未关到位都会影响真空泵抽真空能力。除了这些外还需要逐级检查等离子真空处理系统中的各连接点，看是否有管道连接不良或损坏的情形。

　　

　　四、CDA压力过低报警

　　

　　此报警也叫破空气体压力过低报警，是因为压缩空气的气压不足导致的，主要出现于配有高真空气动挡板阀的等离子处理设备，出现此报警时需检查CDA是否正常供气到设备端。确认供气压力有无过高或过低，还要看减压表的报警值设定是否正确，处理这些之外还要再对电气线路进行检查。

　　

　　五、真空计故障报警

　　

　　真空计故障报警的原因就是由于真空计损坏造成的，这时需要我们检查真空计的控制线路是否有断路和短路的情况。

　　

　　这些就是当真空等离子清洗机出现报警情况时可能的一些原因了，出现故障并没有那么可怕，更何况任何设备都有出现故障的可能，在这种情况下，我们只需要耐心起来，按照步骤逐级检查，问题很容易就会被解决。