真空离子清洗机由真空发生系统、电气控制系统、等离子发生器、真空腔休、机械等几个部分够成，可以根据客户的特殊要求定制符合客户需要的真空系统，真空室。容易采用数控技术，自动化程度高；具有高精度的控制装置，时间控制的精度很高；正确的等离子体清洗不会在表面产生损伤层，表面质量得到保证；由于是在真空中进行，不污染环境，保证清洗表面不被二次污染。
真空离子清洗机是气体分子在真空、放电等特殊场合下产生的物质，等离子清洗/刻蚀产生等离子体的装置是在密封容器中设置。广泛应用于表面去油及清洗等离子刻蚀，聚四氟（PTFE）及聚四氟混合物的刻蚀、塑料、玻璃、陶瓷的表面活化和清洗、等离子涂镀聚合等工序，因此又应用于汽车电子领域、军工电子领域、PCB制成行业等高精密度领域。
真空离子清洗机真空等离子清洗机两个电极形成电磁场，用真空泵实现一定的真空度，随着气体越来越稀薄，分子间距及分子或郭的自由运动距离也越来越长，受磁场作用，发生碰撞而形成等离子体，同时会发生辉光，等离子体在电磁场内空间运动，并轰击被处理物体表面，达到去除表面油污以及表面氧化物，灰化表面有机物，以及其它化学物质，从而达到表面处理、清洗和刻蚀效果，经过等离子处理工艺可以实现有选择的表面改性。
真空等离子清洗机工作过程：
真空等离子清洗机包括一个反应腔室、电源和真空泵组。样品放置反应腔室内，真空泵开始抽气至一定的真空度，电源启动便产生等离子体，然后气体通入到反应腔室，使腔室中的等离子体变成反应等离子体，这些等离子体与样品表面发生反应，生产可挥发的副产物，并由真空泵抽出。
真空型等离子清洗机就没那么复杂，按电源频率划分，40KHz和13.56MHz为例：通常情况下材料放入腔体内工作，频率为40KHz一般温度为65°以下，再者机器内部装有强冷风扇，处理时间不长的话，材料表面温度都会跟室温一致。频率为13.56MHz的就会更低，通常情况是30°以下。所以处理一些受热易发生形变的材料，低温真空型等离子清洗机的是在再适合不过的了。真空等离子清洗机在工作中，腔体内部的离子是不定向的，只要材料在腔体裸露出的部分，不管是哪个面哪个角落都可以洗得到。
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