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60K 桌面型
60K 宽喷型
高覆盖率超声波光刻胶喷涂系统简介：
在传统的高速旋涂无法提供均匀覆盖深孔形貌或高纵横比的应用中，高覆盖率超声波光刻胶喷涂系统用均匀的光刻胶薄膜涂覆半导体成为了完整的解决方案。与传统的旋涂相比，采用超声波喷涂的光致抗蚀剂涂层在沉积更均匀的涂层方面具有优势，特别是在高深宽比沟槽和v形槽结构中沿侧壁顶部沉积时，离心旋涂无法沉积均匀的涂层沿着侧壁形成膜，而没有过多的光致抗蚀剂沉积在腔体的底部。事实证明，使用超声技术进行直接喷涂是将光刻胶沉积到3D微结构上的可靠且有效的方法，从而减少了因金属过度暴露于抗蚀剂涂层而导致的设备故障。
喷嘴：
喷嘴由高强度钛合金和其他专有金属制造，使它们特别耐化学腐蚀，并提供*的声学性能。我们提供类型有：长嘴型--宽喷型--探入型--散射型--聚拢型--线喷型等六种超声波雾化喷嘴。
优势：
1、在MEA制造中证明了铂的利用率高达90%。
2、高孔涂层非常耐用，防止催化剂层开裂或剥落。
3、可减少50%的材料消耗，减少过喷，节省昂贵的催化剂墨水。
4、清洁， 的喷雾模式，易于成型各种图案。
5、高度可控的喷雾，产生可靠一致的结果。
6、不堵塞的雾化喷雾，不会偏离轨迹。
7、超低流量能力，可间歇或连续喷涂。
8、超声振动不断地打破团聚的颗粒，使其均匀分散，使铂的利用率 化。
9、能够用非常小的液体样品(只需10ml的催化剂溶液涂覆多个PEM)。适用于研发阶段。
10、对PEM有及好的粘附性，于高振动燃料电池应用，如汽车零部件。
服务：
我们提供用于雾化喷涂的各种超声波处理器。我们也随时为您提供满意的加工定制服务并为您提出 解决方案。
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