SF6气体定量检漏仪其原理为：空气中含有的六氟化硫气体浓度变化时，该混合气体在高频电磁场的作用下其电离的程度也将不同，通过检测电离度即可反映六氟化硫浓度。

仪器采用小型真空泵，探头与主机为分体式。具有体积小、重量轻、携带方便、灵敏度高、稳定性好、响应速度快、探头不会中毒、不产生有毒气体等特点。并有液晶显示气体浓度，使仪器

读数更为方便准确。
SF6气体定量检漏仪新增了报警设定功能，当被测气体浓度大于或等于设定值时，即自行发出报警声。
本设备于于电力、铁道、电器制造、化工、消防器材以及原子物理科研等部门对充有六氟化硫设备、容器进行检漏，可以迅速、准确地定性和定量检测。
技术数据
测量范围（SF6）： 0.01ppm～500ppm（体积比）  
响应时间： 不大于3秒
指示方式： 液晶数字显示和声、光讯号报警 
报警设定范围： 0.01ppm～500ppm（体积比）  
真空泵抽速： 0.5升/秒 
真空管道长度： 4米 
连续工作时间： 不大于4小时  
工作条件 ： 交流电源 220V 50Hz  
环境温度 7℃-40℃  
相对湿度 不大于85%  
功率：约180W  
整机重量 ：约15Kg