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详细介绍
安捷伦大型离子泵 VacIon Plus 500具有从 150 到全新 1000 L/s 的氮气抽速范围，并具有 Diode、Noble Diode 和 StarCell 型号。Diode Vaclon Plus 泵通常用于抽空电子器件的通用超高真空 (UHV) 系统中及高分辨电子显微镜中。Noble Diode Vaclon Plus 离子泵用于以恒定的压力抽除混合气体的超高真空应用中，因此非常适用于粒子加速器、同步加速器环和表面分析等应用。设计的 StarCell 是惟一能同时抽除大量惰性气体和氢气的离子泵。该泵同样可以高速度和大容量处理甲烷、氩气和氦气。StarCell Vaclon Plus 离子泵适合需要在 10–8 mbar 或以上压力下稳定工作的应用。
性能指标：
大型 VacIon Plus 泵
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抽气口法兰
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型号
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抽速 (L/s)（在 1–6mbar 压力下的饱和泵）氮气
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工作寿命（小时）（在 1–6 mbar 压力下)
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重量
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VacIon Plus 500
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8 英寸外径 CFF (NW 150)
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Star Cell
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410
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80000
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净重 120 (264)
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安捷伦大型离子泵 VacIon Plus 500外形图：
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