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不同真空范圍內(nèi)抽氣時間計算
根據(jù)真空系統(tǒng)的使用目的而決定所需的真空度和抽氣時間，然后選擇合適的真空泵。本節(jié)介紹不同真空范圍內(nèi)的抽氣時間計算。
1、大氣壓-低真空領(lǐng)域的抽氣時間計算
這里所指的低真空領(lǐng)域，是指真空度在100 KPa至0.2 KPa，低真空領(lǐng)域真空腔體和泵的連接管內(nèi)，氣體分子是黏性流時，抽氣時間可以通過初期壓強p1、到達壓強p2、抽氣速度S和容積V(含配管)來計算。
式中 p1———初期壓強(大氣壓)[Pa]；
p2———到達壓強[Pa]；
t———抽氣時間[min]；
V———容積[L]；
Se———實際抽氣速度[L/min]。
考慮到導(dǎo)管和閥門的瓶頸效應(yīng)，實際抽氣速度大致可以估算為理論抽氣速度的80%。
2、中真空領(lǐng)域的抽氣時間計算
這里所指的高真空至超高真空領(lǐng)域，是指真空度在200 Pa 至 0.2Pa之間，中真空領(lǐng)域?qū)Ч軆?nèi)的氣體分子，處于黏性流和分子流的中間狀態(tài)，不能單純地像低真空或下面第三章節(jié)講解的高真空那樣簡單地計算。一般情況下，通過兩種方式分別計算抽氣時間，然后取計算值較大的結(jié)果。
真空抽氣要考慮的要素：
(1)到達真空度；
(2)抽氣速度；
(3)導(dǎo)通率；
(4)實際抽氣速度；
(5)氣體放出率；
(6)漏率。
用真空泵對真空腔體抽氣時，初腔體內(nèi)的壓強迅速降低，但是經(jīng)過一段時間后壓強下降變緩，并且趨于一個恒定值。導(dǎo)致這種現(xiàn)象的主要原因是材料的表面放氣。如圖1所示，壓強變化的不同領(lǐng)域，分別稱之為空間抽氣和表面抽氣。為了進一步提高真空度，通常采用的對策如下：
圖1 壓強和抽氣時間的關(guān)系
(1)選擇表面放出氣體少的材料；
(2)通過電解拋光等手段，減小材料表面積，繼而減少氣體分子的吸附
(3)對腔體進行烘烤，促進表面吸附氣體的放出。
3、高真空-超高真空領(lǐng)域的抽氣時間計算
這里所指的高真空至超高真空領(lǐng)域，是指真空度在0.2Pa以下，對于高真空領(lǐng)域，要充分考慮容器壁以及容器內(nèi)物體的氣體放出，因此，抽氣時間和抽氣速度的計算方法和低真空領(lǐng)域不同。
式中 p(t)———到達壓強；
Se———實際抽氣速度；
Ql———腔體漏氣量；
Qg(t)———腔體內(nèi)部放出氣體量；
p0———初期壓強。
氣體的放出量Qg(t)隨著時間t而減少。計算開始時，假定一個抽氣時間，根據(jù)當(dāng)時的放氣量來求得到達的真空度。如果計算結(jié)果p(t)和所需的真空度不一致，則重新假定時間，根據(jù)新假設(shè)時間的氣體放出量再次計算。不斷重復(fù)，終讓p(t)在所需的真空范圍內(nèi)。
高真空領(lǐng)域的抽氣時間計算遠比低真空領(lǐng)域復(fù)雜。真空腔體的內(nèi)表面經(jīng)過酒精清洗和150～200℃烘烤處理的兩種情況下，后者的氣體放出會減少10%左右，因此使用同樣的抽氣泵所能到達的真空度也會更高一些。
真空腔體內(nèi)的部件形狀和材質(zhì)也極大地影響到達的真空度和抽氣時間。如果使用了樹脂類材料，則到達的真空度會比單純考慮金屬表面的氣體放出要差2～3個數(shù)量級。內(nèi)部使用螺釘時，螺紋部殘留的氣體隨著抽氣時間緩慢放出。為了加速螺紋部的氣體放出，要在螺釘中心穿孔，或在螺紋側(cè)面開一個出氣孔(圖2)。因此，內(nèi)部構(gòu)造越復(fù)雜，影響真空的因素就越多，要獲得高真空，設(shè)計上就更需要經(jīng)驗。
圖2 螺紋部的抽氣示意圖