半导体制造技术作为信息时代制造的基础，堪比工业时代的机床，是整个社会发展的基石和原动力。在国际产业分工格局重塑的关键时期，我国也提出了《ZG制造2025》，以通过智能制造实现由制造大国向制造强国的转换。智能制造（工业4.0）的实现，以各种信息器件的使用为基础，半导体制造技术正是其制造的核心技术。
       而氢气作为半导体制造中的气源，在半导体材料及器件制备中起到至关重要的作用?？稍诠獾缙骷?、传感器、IC制造中应用。
       目前半导体工艺中氢气主要用于退火、外延生长、干法刻蚀等工艺。
       退火是通过高温加热释放材料内部应力从而改善材料质量的一种材料处理办法，氢气作为?；て梢云鸬椒乐寡趸茸饔?，多用于薄膜生长后释放应力。
       氢气也可以应用在化学气相沉积（Chemical Vapor Depositon）薄膜生长?；喑粱且恢掷霉烫?气态反应、气态-气态反应生成薄膜的设备，如在CVD工艺中作为还原性气体制备二维材料MOS2、WS2等；等离子增强化学气相沉积（PECVD）工艺中作为还原性气体制备石墨烯、单晶硅、碳化硅等；电子回旋共振化学气相沉积（ECR-CVD）中作为反应气体在单晶硅衬底上制备金刚石薄膜；金属有机化学气相沉积（MOCVD）设备中作为载气制备光电材料GaN、AlGaN等。同时氢气也可以在原子层沉积（Atomic Layer Deposition）中使用。
       氢气在等离子体刻蚀（RIE/ICP）中作为反应气体出现，等离子体刻蚀原理是利用反应气体离化后与材料发生反应生成挥发性物质，从而实现材料图形化，是半导体器件制备的工艺。
       普拉勒氢气发生器目前已大量应用在以上工艺中，为半导体材料及器件制备提供的气源。

       普拉勒Zxin打造拳头产品:大流量高纯氢气发生器Hydrogen-17L可与普拉勒超纯水机联用，由超纯水机制取二级水，并储存至水箱备用。氢气发生器缺水时，自动供给至氢气发生器。多台氢气发生器可串联使用，通过串联控制线由一台发生器控制其他发生器，实现产气均匀分配。（以两台设备为例控制图如下）

大流量高纯氢气发生器Hydrogen-17L主要技术参数

◎ 氢气纯度： 99.999-99.9999% 

◎ 氢气流量：1m3 /h 

◎ 输出压力：0-80psi（约0.5MPa） 

◎ 压力稳定性：< 0.001MPa 

◎ 供电电源：220V±10% 50HZ 

◎ 消耗功率：8kw 

◎ 纯水需求：＞2MΩ&1L/h

◎ 氢气容积：＜20L 

◎ 环境温度：1-40℃ 

◎ 相对湿度：<85% 

◎ 海拔高度：＜2000米 

◎ 外形尺寸：80x90x100（WxDxH cm） 

◎ 净重：约200kg

仪器特点

◎ 仪器的全部工作过程均由程序控制，自动恒压、恒流，通过串联控制线，可实现多组并联使用。 

◎ 使用固态电解质（PEM）法产生氢气，以超纯净水原料，以固体聚合物为电解质，贵金属 做电极有效的除湿装置，降低了原始湿度，纯度稳定。 

◎ 操作方便使用时只需打开电源开关即可产氢，使用后无需泄压，直接关闭电源即可?？闪褂?，也可间断使用，产氢量稳定不衰减。 

◎ 安全可靠：配有安全装置，电解超纯水制氢，无腐蚀、无污染，配有压力控制，缺水自动监控，漏气自动检测。 

◎ 配备纯水系统，完成自来水进水完成大流量的氢气制备

碱液型和纯水型氢气发生器区别

氢气发生器构造有开关电源、电解池，气液分离系统、干燥系统，显示控制系统几大部分，其中zui核心的是电解池，按电解原理，分为碱液型和纯水型两大类，各有优缺点，现简述如下：　氢气发生器是实验室小型现场制氢设备，具有制氢快、纯度高、价格低、安装方便、占用空间小等特点，分析实验中常用于气相色谱载气、FID燃烧气、催化反应等。

一、碱液型氢气发生器 

是零极距碱液电解池，采用镍丝网电极和石棉隔膜构成，使用时要一次性加入氢氧化钾作为电解质，增加水的导电性达到电解目的。这种发生器的优点是价格相对低，故障率低，缺点是强碱溶液存在潜在危险，并有随气体输出的风险，并且电解容易产生电解泥，有堵塞液路的可能性，需半年更换一次。

二、纯水型氢气发生器

是零极距纯水电解池，采用SPE固态电解质薄膜作为导电介质，贵金属导流板作为导电部件，使用时只需加入去离子纯水，无高浓度碱液的任何潜在风险，安全可靠。纯水型氢气发生器的电解池全为板式，其技术核心有两个，一是电解膜二是导流板。电解膜为固态离子膜上加载催化剂，成品膜的导电电流密度和催化剂效率为衡量其质量的两个关键。

首先是价格上面的对比，纯水型价格会比碱液型的价格高一些，如果预算有限，可以选择碱液型氢气发生器，碱液型氢气发生器选择购买的实验室也多的，优势是价格便宜。但对比纯水型氢气发生器来说相对麻烦一点，纯水型氢气发生器是直接加纯水使用，碱液型氢气发生器需要氢氧化钾，并且等溶解冷却后使用。这是两者的差别。Peculiar系列超高纯氢气发生器可以连续可靠的产生纯度*的氢气，纯度>99.9999%。从而使昂贵且危险的高压氢气钢瓶*告别实验室，因更换钢瓶而中断重要分析工作的情况将不复存在。

Peculiar系列可以连续可靠的产生纯度的氢气，纯度>99.9999%。从而使昂贵且危险的高压氢气钢瓶*告别实验室，因更换钢瓶而中断重要分析工作的情况将不复存在。
只需去离子水和供电，即可产生氢气，一次加水即可持续工作15天，成本极低。氢气发生器的安全、简便性能使其替代了危险的高压氢气钢瓶。Hydrogen-500H系列氢气发生器是GC 或GC/MS 载气
的*选择。与氦气相比，使用氢气作为载气能提高分析速度及灵敏度。

主要技术参数
◎ 氢气纯度：99.9999%
◎ 氢气流量：0-500ml/min
◎ 输出压力：0-0.5Mpa
◎ 压力稳定性：< 0.0001MPa
◎ 供电电源：220V±10%, 50Hz
◎ 消耗功率：300W
◎ 外型尺寸：420×300×360mm
◎ 净重：约14Kg
仪器特点
◎ 程序控制：仪器采用单片计算机控制，全自动工作，恒压、恒流，氢气流量可根据用量实现全自动调节；
◎ 操作方便：免运输钢瓶之劳，省搬运钢瓶之苦，使用时只需打开电源开关即可产氢?？闪褂?，也可间断使用，产氢量稳定不衰减。不需要干燥剂(如：变色硅胶、分子筛等)，免维护；
◎ 超高纯度：将产生的氢气通过Peculiar钯合金膜（技术）过滤，由于钯合金具有只允许氢及其同位素通过的特性，因此产生氢气的纯度可确保持续达到99.99999%；
◎ 安全可靠：配有水位自动安全装置，超压控制安全装置，由单片机智能控制，灵敏可靠。