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氦質譜檢漏儀基本檢測方法如下：噴氦法，真空氦罩法，吸槍法，鋼瓶法，真空容器法，并列排氣法等。
島津氦質譜檢漏儀搭載了新型的CPU，采用專用的分流泵及中間排氣系統，實現了的低BG恢復性能和操作性。
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