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一、iEDX-150AT型R角厚度分析儀技術(shù)參數(shù)：

1. X高壓電源：輸入電壓 50V，總功率50W，輸出電壓3-50KV連續(xù)可調(diào)，輸出電流0-2mA

2. 探測(cè)器類型：電子制冷式硅漂移SDD探測(cè)器

3. 探測(cè)器分辨率：125eV， Be窗0.3-0.5mi

4.X射線管：微焦長(zhǎng)壽命X射線管

5. 準(zhǔn)直器:Φ0.2mm（可選Φ.0.2mm、Φ0.3mm、Φ0.5mm、Φ1mm、Φ4mm、Φ4mm)

6. 攝像頭：分辨率1.3 million

7. 控制板:X光控制，機(jī)械動(dòng)作控制

8. 外形尺寸:618*525*490mm WxDxH（寬*深*高）

9. 平臺(tái)移動(dòng)范圍:≥160mm*160mm*90mm(X*Y*Z)

10. 樣品倉尺寸：≥500*400*200mm

11. 樣品臺(tái)尺寸:≥220*250mm（長(zhǎng)*高）

12. 平臺(tái)最大負(fù)荷:5Kg

13. 工作距離：5mm

14. 正版操作系統(tǒng)：win10,win11等

15. 分析軟件：MultiRay，F(xiàn)P算法

16. 測(cè)量精度：0.001um

17. 電源電壓：220V，50/60Hz

18. 功率：600W

19. 重量:85Kg

20. 測(cè)量結(jié)果一鍵生成測(cè)量報(bào)告，可直接打印輸出，可提供包括中、英文在內(nèi)的多語言軟件，軟件終生免費(fèi)升級(jí)

二、iEDX-150AT型R角厚度分析儀功能特點(diǎn)：

1. 具備全自動(dòng)檢測(cè)功能，XYZ三維全自動(dòng)操作平臺(tái)

2. 每次開機(jī)測(cè)試前不需要預(yù)熱，每次測(cè)試時(shí)不需要元素片校準(zhǔn)

3. 開放式的編程功能，可以多樣品或連續(xù)多點(diǎn)測(cè)

4. 上照式光源系統(tǒng)，方便樣品的擺放及測(cè)試

5. 全封閉樣品倉，雙重輻射聯(lián)鎖保護(hù)裝置，確保無輻射泄露

6. 自動(dòng)聚焦功能，鼠標(biāo)選點(diǎn)，即選即測(cè)

7. 采用*進(jìn)真實(shí)的FP分析方法，疊加MultiRay分析軟件，做到數(shù)據(jù)實(shí)時(shí)存儲(chǔ)及隨時(shí)調(diào)用

8. 輻射豁免相關(guān)許可

三、其它配件：

1. 標(biāo)準(zhǔn)片：20μm，30μm，40μm左右，共3個(gè)，以證書厚度為準(zhǔn)，每片附帶證書

2. R角測(cè)試治具：2個(gè)（定制）

3. 標(biāo)片校準(zhǔn)用治具：1個(gè)（定制）

4. 原材料測(cè)試治具：1個(gè)（定制）

5. 點(diǎn)檢治具：1 個(gè)（定制）

6. 電腦：控制系統(tǒng)計(jì)算機(jī)：具有USB接口的PC機(jī) ,CPU 雙核2.8G及以上,內(nèi)存\硬盤8G\1T