传感器heihenhain品牌LIDA 系列
LIDA敞开式直线光栅尺特别适合运动速度达10 m/s的高速运动应用，支持多种安装方式，安装特别简单。根据相应应用要求，METALLUR光栅的基体可为钢带，玻璃或玻璃陶瓷。也有限位开关。
敞开式直线光栅尺设计用于对测量精度要求*的机床和系统。
典型应用包括：
半导体业的测量和生产设备
PCB电路板组装机
超高精度机床

传感器heihenhain品牌LIDA 系列
LIDA敞开式直线光栅尺特别适合运动速度达10 m/s的高速运动应用，支持多种安装方式，安装特别简单。根据相应应用要求，METALLUR光栅的基体可为钢带，玻璃或玻璃陶瓷。也有限位开关。
敞开式直线光栅尺设计用于对测量精度要求*的机床和系统。
典型应用包括：
半导体业的测量和生产设备
PCB电路板组装机
超高精度机床

直线光栅尺测量直线轴位置，没有任何其
它机械传动件。有效避免多个潜在误差源
的影响：
• 滚珠丝杠发热导致的定位误差
• 反向误差
• 滚珠丝杠螺距误差导致的运动特性误差
因此，直线光栅尺是需要高定位精度和高
速加工的机床*的基础性技术。
敞开式直线光栅尺广泛用于需要*测量

传感器heihenhain品牌LIDA 系列
精度的机器设备。典型应用包括：
• 半导体工业的测量和生产设备
• PCB电路板组装机
• 超精密机床和设备，例如加工光学器件
的金刚石刀具，加工磁盘的端面车床和
加工铁氧体元件的磨床
• 高精度机床
• 测量机和比较仪、测量显微镜和其它
精密测量设备
• 直驱电机
机械结构
敞开式直线光栅尺包括光栅尺或钢尺带和
读数头，光栅尺和读数头间无机械接触。
敞开式直线光栅尺的尺带固定在安装面
上。因此，为确保直线光栅尺的高精度，
必须确保安装面平面度达到高标准

超高精度 LIP敞开式直线光栅尺的突出特点是极小 测量步距、高精度和高重复精度。扫描方 式为干涉扫描，测量基准为OPTODUR相 位光栅。 高精度 LIF敞开式直线光栅尺采用干涉扫描原 理，测量基准为SUPRADUR光栅。其特点 是高精度和高重复精度，特别易于安装， 并带限位开关和回零轨。特殊型号的LIF 481 V可用于真空度达10–7毫巴的高真空度 应用（参见其单独的“产品信息”资料）。 高运动速度 LIDA敞开式直线光栅尺设计用于高速运 动，1313高速度达10 m/s。多种安装方式使 其特别易于灵活地部署。多种版本可供选 择，例如钢尺带、玻璃或玻璃陶瓷基体的 METALLUR光栅。也可带限位开关。 二维光栅尺 PP二维光栅尺的测量基准为干涉扫描的、 由DIADUR工艺制造的平面二维光栅。因 此可测量平面中的位置。 用在真空环境中的光栅尺 海德汉的标准光栅尺适用于一般或中等真 空应用。如果用于高真空和超高真空环境 中，光栅尺必须满足特殊要求。在选择光 栅尺的结构设计和材质中，必须特别满足 这些条件的要求。更多信息，请参见真空 应用的直线光栅尺“技术信息”资料。 以下敞开式直线光栅尺于高真空度或 超高真空度的应用： • 高真空度：LIP 481V和LIF 481V • 超高真空度：LIP 481U 更多信息，请参见相应的“产品信息