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產(chǎn)品簡介
參數(shù)名稱參數(shù)值應(yīng)力測定范圍56Onm（一級千涉光）以下定性位置全波長光程差560nm檢偏鏡通光口徑直徑150mm臺面玻璃通光口徑Φ直徑220mm可測量樣品高度Φ250mm應(yīng)力測量范圍280nm（一級干涉光）以下分辨率0
詳細(xì)介紹
| 參數(shù)名稱 | 參數(shù)值 |
| 應(yīng)力測定范圍 | 56Onm （一級千涉光）以下 |
| 定性位置 | 全波長光程差560nm |
| 檢偏鏡通光口徑 | 直徑150mm |
| 臺面玻璃通光口徑 | Φ直徑220mm |
| 可測量樣品高度 | Φ250mm |
| 應(yīng)力測量范圍 | 280nm（一級干涉光）以下 |
| 分辨率 | 0.2nm |