当前位置:上海富瞻环??萍加邢薰?/a>>>物理特性仪器>>测厚仪>> MProbe系列反射膜厚仪
产地类别 | 进口 | 价格区间 | 面议 |
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应用领域 | 医疗卫生,生物产业,能源,电子/电池,制药/生物制药 |
产品品牌:Semiconsoft
当一束光入射到薄膜表面时,薄膜上表面和下表面的反射光会发生干涉,干涉的发生与薄膜厚度及光学常数等有关,反射光谱薄膜测厚仪就是基于此原理来测量薄膜厚度。
反射膜厚仪是一种非接触式、无损的、快速的光学薄膜厚度测量技术。
测量范围: 1 nm - 1 mm
波长范围: 200 nm -8000 nm
光斑尺寸:2um -3 um
标准配置中包含:
1. 主机(光谱仪,光源,电线)
2. 反射光纤
3. 样品台及光纤适配器
4. TFCompanion软件
5. 校准套装
6. 测试样品,200nm晶圆
广泛的应用于各种工业生产及工艺监控中:
半导体晶圆,薄膜太阳能电池,液晶平板,触摸屛,光学镀膜,聚合物薄膜等
半导体制造:· 光刻胶 · 氧化物 · 氮化物
光学镀膜:· 硬涂层 · 抗反射涂层 · 滤波片
生物医学:· 生物膜厚度 · 硝化纤维
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