目录:郑州成越科学仪器有限公司>>CVD气相沉积系统>> CY-CVD1200-60-220×440×220-3TH-Q1200℃三温区三通道混气CVD系统
1200℃三温区三通道混气CVD系统采用全彩高清触控屏操作，简单易上手，即使是非专业人员经过简单的培训也可以熟练掌握仪器的使用方法，能够极大的提高您的实验效率。系统所配有的三路浮子流量计，可以较为准确的配制出实验所需的混合气体；另有一压力表安装在浮子流量计正面，可以监测气体压力及混合槽压力。
适用于高校、科研院所、工矿企业做高温烧结、金属退火、质量检测等，尤其适合需要多种气体混合的气氛环境的CVD实验。
1200℃三温区三通道混气CVD系统技术参数：
项目 明细 供电电压 AC220V，50Hz MAX功率 5KW 加热温区 220mm+440mm+220mm 工作温度 1100℃ （1200℃＜1h） 控温精度 ±1℃ 升温速率 建议≤10℃/min 控温方式 AI-PID 30段工艺曲线，可存储多条 三温区独立控制，带有过热和断偶?；?/span> 炉管材质 高纯石英 炉管尺寸 φ60mm O.D×1300mm L 气体通道 三通道质量流量计 气体量程 A：100sccm B：300sccm C：500sccm 系统真空 5~10Pa（如需更高真空度可以选配其他的泵）
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