目录:郑州成越科学仪器有限公司>>CVD气相沉积系统>> CY-CVD1200-50-200×200-2TH-Q两通道CVD系统
本CVD系统带水冷法兰双路流量计并配有双极旋片泵、水冷机、数字真空计且该CVD系统可抽真空、通气氛用于各种CVD实验。
主要技术参数：
双温区CVD系统产品规格：
| 主要技术参数 | ||
| 双 温 区 管 式 炉 | 显示模式 | 7英寸触摸屏 |
| 真空控制 | 可通过参数设置，自动完成抽真空，恒压工作 | |
| 炉管材料 | 高纯石英 | |
| 炉管尺寸 | 直径：50mm，长度1000mm | |
| 加热温区 | 两温区 | |
| 温区长度 | 200mm+200mm | |
| 工作温度 | 室温～1100℃ | |
| 控温精度 | ±1℃ | |
| 升温速率 | 建议10℃/min | |
| 控温模式 | 可编程程序控温 | |
| 密封方式 | 真空法兰密封 | |
| 双通道质量流量计 | 气体通道 | 两通道 |
| 测量仪器 | 质量流量计 | |
| A路量程 | 氢气：0～500SCCM | |
| B路量程 | 氩气：0～1000SCCM | |
| 连接管道 | 抛光不锈钢管 | |
| 气体缓冲器 | 1000ml | |
| 工作压力 | ≦3Mpa | |
| 工作压差 | 0.3MPa | |
| 管道接口 | 6.35mm卡套接头 | |
| 真空泵 | 抽气接口 | KF25 |
| 排气接口 | KF25 | |
| 抽气速率 | 24立方米/小时 | |
| 极限真空 | 5.0E-2Pa | |
| 电机功率 | 1100W | |
| 电机转速 | 1440转/分钟 | |
| 真空计 | 传感器类型 | 皮拉力 |
| 真空量程 | 1.0E-1Pa～1.0E5Pa | |
| 安装方式 | 竖直放置 | |
| 工作电压 | DC24V | |
| 相关配件 | 连接管道 | KF25波纹管1米长 |
| 聚四氟管5米 | ||
| 石英炉管1根 | ||
| 炉管塞子4个 | ||
| 炉钩1支 | ||
| 防护手套1双 | ||
| 真空法兰1套（带密封圈、针阀、气路接头） | ||
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