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1200℃双温区3路浮子供气高真空CVD系统管式炉采用高清真彩触控屏操作，简单易上手，即使是非专业人员经过简单的培训也可以熟练掌握仪器的使用方法，能够极大的提高您的实验效率。
系统所配有的三路浮子流量计，可以较为准确的配制出实验所需的混合气体；另有一压力表安装在浮子流量计正面，可以监测气体压力及混合槽压力。
本系统还配有精密分子泵组，可以达到1.0E-3pa级别的真空度，较普通机械泵可以为用户提供更纯净严苛的实验环境。
适用于高校、科研院所、工矿企业做高温烧结、金属退火、质量检测等，尤其适合需要多种气体混合的气氛环境的CVD实验。
| 真 空 管 式 炉 | 产品型号 | CY-CVD1200-50-200×200-3TH-Q | ||
| 炉管材质 | 高纯石英 | |||
| 炉管直径 | 50mm（可选配60mm、80mm、100mm） | |||
| 炉管长度 | 1000mm | |||
| 炉膛长度 | 440mm | |||
| 加热区长 | 200mm+200mm | |||
| 工作温度 | 0～1100℃ | |||
| 控温精度 | ±1℃ | |||
| 控温模式 | 30段或50段程序控温 | |||
| 显示模式 | LCD | |||
| 密封方式 | 304不锈钢真空法兰 | |||
| 法兰接口 | 1/4英寸卡套接头、KF16/25/40接头 | |||
| 可抽真空 | 4.4E-3Pa | |||
| 供电电源 | AC:220V 50/60Hz | |||
| 供 气 系 统 | 产品型号 | CY-3F | ||
| 气体通道 | 3通道 | |||
| 测量部件 | 气体浮子流量计 | |||
| 测量量程 | A通道：0～100ml/min H2气 | 备注：如需其它量程或气体种类，定货时需要特别注明?？筛菘突У木咛逡罄囱∨涠杂Φ钠逯掷嗪土砍痰牧髁考?。 | ||
| B通道：16～160 ml/min N2气 | ||||
| C通道：25～250 ml/min Ar气 | ||||
| 测量精度 | ±2.0% | |||
| 管道耐压 | 3MPa | |||
| 工作压差 | 50～300KPa | |||
| 连接管道 | 304不锈钢 | |||
| 控制阀门 | 304不锈钢针阀 | |||
| 接口规格 | 进气口和出气口为1/4英寸卡套接头 | |||
| 排 气 系 统 | 产品型号 | CY-GZK103-A | ||
| 分子泵 | CY-600 | |||
| 前极泵 | 旋片泵 | |||
| 抽气速率 | 分子泵：600L/S | 综合抽气性能：30分钟真空度可达：1.0E-3Pa | ||
| 旋片泵：1.1L/S | ||||
| 抽气接口 | KF40 | |||
| 排气接口 | KF16 | |||
| 真空测量 | 复合真空计：电阻规+电离规 | |||
| 极限真空 | 1.0E-5Pa | |||
| 供电电源 | AC:220V 50/60Hz | |||
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