目录:郑州成越科学仪器有限公司>>磁控溅射镀膜仪>> CY-MSH500X-II-DCRF-SS双靶DCRF磁控溅射镀膜仪(靶下置型)
| 项目 | 明细 | |
| 产品型号 | CY-MSH500X-II-DCRF-SS | |
| 供电电压 | AC220V，50Hz | |
| 整机功率 | 6KW | |
| 极限真空度 | 5x10-4Pa | |
| 载样台参数 | 尺寸 | 150mm |
| 高度 | 上下70mm**可调 | |
| 加热温度 | ≤500℃ | |
| 转速 | 1-20rpm | |
| 磁控溅射头参数 | 数量 | 2个2"磁控溅射头 |
| 冷却方式 | 水冷，所需流速10L/min | |
| 水冷机规格 | 10L/min流速的循环水冷机 | |
| 真空腔体 | 腔体尺寸 | φ500mm X 490mm H |
| 腔体材料 | 不锈钢 | |
| 观察窗口 | φ100mm | |
| 开启方式 | 前开门式 | |
| 气体流量控制器 | 1路质量流量计用于控制Ar流量，量程为:200SCCM Ar； | |
| 真空泵 | 配有一套分子泵系统，抽速600L/S | |
| 膜厚仪 | 石英振动薄膜测厚仪一台，分辨率0.10 ? | |
| 溅射电源 | 直流电源1台，500W，适用于制备金属膜 射频电源1台，500W，适用于非金属镀膜 | |
| 操作方式 | CYKY自研专业级控制系统 | |
| 整机尺寸 | 1090mm X 900mm X 1250mm | |
| 整机重量 | 350kg | |
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