目录:郑州成越科学仪器有限公司>>培育钻石>> CY-HFCVD400-30KW热丝化学气相沉积（HFCVD）金刚石涂层设备
| 真空腔室 | 结构：圆筒形+上盖 材质：304上等不锈钢 腔体尺寸:Φ640x320mm |
| 电源： | AC220V /三相380V 30KW |
| 控温 | 低压和大电流直流电源，热丝温度*高可达2500°C。 沉积基体表面：600℃左右 腔体壁温度： <60℃ 控温精度：0.1℃ |
| 测温系统 | 远红外光学测温+热电偶监测 |
| 热丝装置： | 恒定张力阵列几何形状，钼丝，铜馈通，钨丝结合处理，方便调整与维护 |
| 观察窗 | 主观察窗φ190mm 辅观察窗φ45mm |
| 水路系统 | 水冷电极、水冷腔体、水冷热丝辅助部件 总水管接口尺寸 40mm 冷却水流量：60L/MIN |
| 真空系统 | 双基旋片泵+高真空阀门组合（**阀，流量感应器，调节阀……） ，数显复合真空计， *大抽气速度：65 m3/h 设备保压：停泵 12 小时候后，真空≤10Pa； 抽气接口 CF40 排气接口KF16
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| 操作系统： | PLC+触摸屏人机界面半自动控制系统； |
| **系统 | 报警及保护：对泵、电极等缺水、过流过压、断路等异常情况进行报警并执行相应保护措施；完善 的逻辑程序互锁?；は低?； |
| 占地尺寸 | (主机）L1800×W1150×H1550(mm)。 |
| 整机重量 | 600kg |
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