大功率程控伺服匀胶机主要特点：

机身采用不锈钢外壳比塑料或者烤漆金属更耐久和美观；

工业级别400瓦伺服电机系统，采用于trCYk设备相同设计和程序，使您的工艺更具有实际应用意义；

可达到50000rpm/s的旋转加速度，确保旋转匀胶的稳定性和的可重复性。

大功率程控伺服匀胶机技术参数：

旋涂程序：可以至多存储100组程序，每组100步，每个步骤可**到0.1秒

转动速度：0-5000rpm（更高速可?。?，考虑重片或大片旋涂safety限定为5000rpm

旋涂加速度：0-10000rpm/sec（更高可?。?，考虑重片或大片旋涂safety限定为10000rpm/s

马达旋涂转速稳定性能误差：<±1rpm

转速调节精度和重复性：1rpm

工艺时间设定：0-3000 sec/step，时间设置精度：0.1sec

支持wafer尺寸25px-300mm（12''圆晶）

旋涂作业均匀性：<±3%在6英寸范围内（需要去除边缘3毫米区域测量）

CY-HP-PC-S大功率程控伺服匀胶机优点：

内部紧凑设计，缩小了设备的尺寸。

7"触屏控制面板操作系统，更方便操作。

Telon ®/polyethylene“密闭碗"设计可适合各种材料匀胶工艺。

标准配置转速5000rpm，并可根据用户需要进行定制。

采用工业级别伺服电机，电机设计避免光刻胶等污染物进入电机内部。

机身选用耐酸碱、耐冲击、耐腐蚀不锈钢，生锈，便于清洗。

排风和抽气系统位于载片台之底部 （以利于排风效率和匀胶均一性）。

透明可视，耐化学腐蚀的密封盖，可以在旋涂作业时隔绝光阻的溢出及有效隔绝有毒气味的散发。

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