目录:郑州成越科学仪器有限公司>>可编程匀胶机>> CY-SPC12-SS大型匀胶机旋涂仪
本设备采用高精度驱动器,转速分辨率可达0.2rpm。
产品型号 | CY-SPC12-SS |
匀胶腔体 | 不锈钢材质,*大支持直径300mm厚度2.3mm的晶圆内置排胶口 |
转速 | ≤3000rpm |
转速分辨率 | 0.2rpm |
控制方式 | 15英寸全高清触控屏,可使用USB接口升级程序 |
供电 | AC220V 50Hz 2kW |
真空泵 | 无油真空泵,抽速120L/min |
真空接口 | KF16 |