horiba高精度氣體質(zhì)量流量計(jì)Z524/Z534/SEC-Z514

小量程0-2sccm，大量程0-50SLM
高精度：1.0% S.P. (25-100% F.S.); 0.25% F.S. (≤25% F.S.)
數(shù)字通訊：DeviceNet

horiba高精度氣體質(zhì)量流量計(jì)Z514/SEC-Z524/SEC-Z534

銷(xiāo)售型號(hào): SEC-Z514MGX、SEC-Z524MGM、SEC-Z512、SEC-Z522。

可選低成本數(shù)字型：SEC-N112MGM、SEC-N114MGM、SEC-N122MGM、SEC-N132MGM、SEC-N142MGM。

可選低成本模擬型：SEC-E40、SEC-E50、SEC-E60、SEC-E40MK3。

國(guó)內(nèi)組裝模擬型：Horiba S48 28、horiba S48 32、S300

國(guó)內(nèi)組裝數(shù)字型：S600 BR212、S600 BR222、S600 BM212、S600 BM222、S600 BR226、S600 BM226、S600 CR212、S600 CR222、S600 CR226、S500BR212、S500BM212

horiba高精度氣體質(zhì)量流量計(jì)Z524 又稱(chēng)氣體質(zhì)量流量控制器，簡(jiǎn)稱(chēng)MFC。

主要功能是：控制器管路中的流量達(dá)到期望的設(shè)定值，同時(shí)反饋實(shí)際的流量信號(hào)到上位機(jī)。

大流量Horiba氣體質(zhì)量流量計(jì)SEC-Z524是一款高穩(wěn)定性、高精度的MFC，用于進(jìn)口設(shè)備的PEVCVD、MOCVD中，國(guó)內(nèi)多回收、二次銷(xiāo)售，

我公司提供進(jìn)口

SEC-Z512MGX、SEC-Z522MGX、SEC-Z514、SEC-Z524等，

保證全新進(jìn)口，終身維修。

產(chǎn)品特點(diǎn)
1) 多種氣體及多種流量范圍, 可以自由地更改氣體類(lèi)型及更改滿量程流量, 現(xiàn)場(chǎng)設(shè)定;
2) 超高精度：±1.0% S.P. (25-100% F.S.); ±0.25% F.S. (≤25% F.S.);
3) 快速響應(yīng)：< 1秒 (全量程范圍內(nèi)，任意設(shè)置點(diǎn));
4) 非常方便的現(xiàn)場(chǎng)設(shè)置操作;
5) 多種氣體及多種流量范圍能力集成于一顆質(zhì)量流量控制器，可以zui大限度地減少庫(kù)存;
6) 與現(xiàn)有模擬式質(zhì)量流量控制器兼容;
7) 可選其他數(shù)字通訊：DeviceNet、EtherCAT、CC-Link、模擬信號(hào)。

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產(chǎn)品參數(shù)

規(guī)格-數(shù)字-模擬轉(zhuǎn)換模式

型號(hào)^*1	SEC-Z512、Z514	SEC-Z512MGX	SEC-Z522MGXN	SEC-Z522MGX
		SEC-Z514MGX	SEC-Z524MGXN	SEC-Z524MGX
全標(biāo)準(zhǔn)流量 (N2 轉(zhuǎn)換流量)	1/2SCCM	10SCCM-10SLPM	10-50SLM
閥門(mén)類(lèi)型	O: 通常打開(kāi) C: 通常關(guān)閉
關(guān)閉控制閥時(shí)的流量	≤ 2% F.S.
流量測(cè)量范圍	0-100% of F.S.
精確性^*2	±1.0%F.S.	±1.0%S.P.(流量>25%F.S.)
		±0.25%F.S.(流量≤25%F.S.)
工作溫度	5 -50°C (建議溫度范圍: 15 -45°C)
響應(yīng)	≤ 1 秒:超過(guò)全流量范圍
直線性	≤ ±0.5% F.S.
反復(fù)性	≤ ±0.2% F.S.
工作壓差值	≤ 300 kPa (d)
zui大工作壓力	450 kPa (g)
耐壓	1000 kPa (g)
外部泄漏率	≤ 5 x 10-12 Pa·m3/s (He)
流量設(shè)定信號(hào)	0.1 - 5 V DC (2% - F.S.); 輸入阻抗 1 MΩ 或更高
流量輸出信號(hào)	0 -5 V DC (0% - F.S.); zui小負(fù)荷阻力 2 kΩ 或更高
數(shù)字界面	地址功能: RS-485 (轉(zhuǎn)換速度 38,400 bps)
	F-Net 協(xié)議,DevceNet
接液部材質(zhì)	316L 不銹鋼(表面拋光)
電源	+15V±5% 150mA
	-15V±5% 150mA
信號(hào)反應(yīng)	模擬: D-Sub 9-pin (TOP)
	數(shù)字: 2 LAN jacks (TOP)
標(biāo)準(zhǔn)接頭^*3	1/4 inch VCR		1/4 inch VCR	1.5 inch IGS
	選擇: 1.125 inch IGS, 1.5 inch IGS		可選1.125 inch IGS
安裝方向	自由

^*1SEC(SEF)-Z512MGX, Z522MGX, 和 Z522MGXN氣體類(lèi)型以及全范圍設(shè)定由操作者運(yùn)用特殊軟件改變。
^*2流量精度保證溫度符合 SEMI E56-1296 標(biāo)準(zhǔn)。精度是聯(lián)合全范圍MR以及MG數(shù)字值。
^*3IGS: 完整氣體系統(tǒng)
^*SCCM 和 SLM 是表示氣體流量的記號(hào)。 (mL/min, L/min, at 0°C和101.3 kPa)

訂購(gòu)注意：

請(qǐng)?zhí)峁┊a(chǎn)品的介質(zhì)名稱(chēng)、氣體量程、接口尺寸。

如是設(shè)備備件的更換，請(qǐng)?zhí)峁┰a(chǎn)品的背面圖片和側(cè)面圖片、頂部圖片。

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