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上海進佳科學儀器有限公司
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horiba高精度氣體質(zhì)量流量計Z514/Z524MGX
  • horiba高精度氣體質(zhì)量流量計Z514/Z524MGX

貨物所在地:上海上海市

地: 日本

更新時間:2024-10-18 09:11:53

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horiba高精度氣體質(zhì)量流量計Z524/Z534/SEC-Z514

小量程0-2sccm,大量程0-50SLM
高精度:1.0% S.P. (25-100% F.S.); 0.25% F.S. (≤25% F.S.)
數(shù)字通訊:DeviceNet

horiba高精度氣體質(zhì)量流量計Z514/SEC-Z524/SEC-Z534

銷售型號: SEC-Z514MGX、SEC-Z524MGMSEC-Z512、SEC-Z522

可選低成本數(shù)字型:SEC-N112MGM、SEC-N114MGMSEC-N122MGM、SEC-N132MGMSEC-N142MGM。

可選低成本模擬型:SEC-E40SEC-E50、SEC-E60SEC-E40MK3。

國內(nèi)組裝模擬型:Horiba S48 28horiba S48 32、S300

國內(nèi)組裝數(shù)字型:S600 BR212、S600 BR222、S600 BM212S600 BM222、S600 BR226、S600 BM226、S600 CR212、S600 CR222、S600 CR226S500BR212、S500BM212  

   

horiba高精度氣體質(zhì)量流量計Z524 又稱氣體質(zhì)量流量控制器,簡稱MFC。

主要功能是:控制器管路中的流量達到期望的設定值,同時反饋實際的流量信號到上位機。

大流量Horiba氣體質(zhì)量流量計SEC-Z524是一款高穩(wěn)定性、高精度的MFC,用于進口設備的PEVCVD、MOCVD中,國內(nèi)多回收、二次銷售,

我公司提供進口

SEC-Z512MGX、SEC-Z522MGX、SEC-Z514、SEC-Z524等,

保證全新進口,終身維修。


產(chǎn)品特點
1) 多種氣體及多種流量范圍, 可以自由地更改氣體類型及更改滿量程流量, 現(xiàn)場設定;
2) 超高精度:±1.0% S.P. (25-100% F.S.); ±0.25% F.S. (≤25% F.S.);
3) 快速響應:< 1(全量程范圍內(nèi),任意設置點);
4) 非常方便的現(xiàn)場設置操作;
5) 多種氣體及多種流量范圍能力集成于一顆質(zhì)量流量控制器,可以
zui大限度地減少庫存;
6) 與現(xiàn)有模擬式質(zhì)量流量控制器兼容;
7)
可選其他數(shù)字通訊:DeviceNet、EtherCAT、CC-Link、模擬信號。


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產(chǎn)品參數(shù)

規(guī)格-數(shù)字-模擬轉(zhuǎn)換模式

型號*1

SEC-Z512、Z514

SEC-Z512MGX

SEC-Z522MGXN

SEC-Z522MGX

SEC-Z514MGX

SEC-Z524MGXN

SEC-Z524MGX

全標準流量
(N2 轉(zhuǎn)換流量)

1/2SCCM


10SCCM
-10SLPM

10-50SLM

閥門類型

O: 通常打開 C: 通常關閉

關閉控制閥時的流量

≤ 2% F.S.

流量測量范圍

0-100% of F.S.

精確性*2

±1.0%F.S.

±1.0%S.P.(流量>25%F.S.)

±0.25%F.S.(流量≤25%F.S.)

工作溫度

5 -50°C (建議溫度范圍: 15 -45°C)

響應

≤ 1 :超過全流量范圍

直線性

≤ ±0.5% F.S.

反復性

≤ ±0.2% F.S.

工作壓差值

≤ 300 kPa (d)

zui大工作壓力

450 kPa (g)

耐壓

1000 kPa (g)

外部泄漏率

≤ 5 x 10-12 Pa·m3/s (He)

流量設定信號

0.1 - 5 V DC (2% - F.S.); 輸入阻抗 1 MΩ 或更高

流量輸出信號

0 -5 V DC (0% - F.S.); zui小負荷阻力 2 kΩ 或更高

數(shù)字界面

地址功能: RS-485 (轉(zhuǎn)換速度 38,400 bps)

F-Net 協(xié)議,DevceNet

接液部材質(zhì)

316L 不銹鋼(表面拋光)

電源

+15V±5% 150mA

-15V±5% 150mA

信號反應

模擬: D-Sub 9-pin (TOP)

數(shù)字: 2 LAN jacks (TOP)

標準接頭*3

1/4 inch VCR

1/4 inch VCR

1.5 inch IGS

選擇: 1.125 inch IGS, 1.5 inch IGS

可選1.125 inch IGS

安裝方向

自由

*1SEC(SEF)-Z512MGX, Z522MGX, Z522MGXN氣體類型以及全范圍設定由操作者運用特殊軟件改變。
*2流量精度保證溫度符合 SEMI E56-1296 標準。精度是聯(lián)合全范圍MR以及MG數(shù)字值。
*3IGS: 完整氣體系統(tǒng)
*SCCM SLM 是表示氣體流量的記號。 (mL/min, L/min, at 0°C101.3 kPa)

訂購注意:

請?zhí)峁┊a(chǎn)品的介質(zhì)名稱、氣體量程、接口尺寸。

如是設備備件的更換,請?zhí)峁┰a(chǎn)品的背面圖片和側(cè)面圖片、頂部圖片。





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