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上海進(jìn)佳科學(xué)儀器有限公司
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Horiba Z514 Z512高品質(zhì)數(shù)字式質(zhì)量流量計(jì)
  • Horiba Z514 Z512高品質(zhì)數(shù)字式質(zhì)量流量計(jì)

貨物所在地:上海上海市

地: 日本

更新時(shí)間:2025-01-29 21:00:07

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日本horiba進(jìn)口,穩(wěn)定性好,0.3%高精度,客戶可更改量程
暢銷型號(hào): SEC-Z514MGX、SEC-Z524MGM、SEC-Z512、SEC-Z522。

Horiba Z514 Z512高品質(zhì)數(shù)字式質(zhì)量流量計(jì)

                     高精度,高穩(wěn)定性,可改量程

暢銷型號(hào): SEC-Z514MGX、SEC-Z524MGM、SEC-Z512、SEC-Z522

可選低成本數(shù)字型:SEC-N112MGM、SEC-N114MGMSEC-N122MGM、SEC-N132MGM、SEC-N142MGM。

可選低成本模擬型:SEC-E40、SEC-E50SEC-E60、SEC-E40MK3。

國(guó)內(nèi)組裝模擬型:Horiba S48 28、horiba S48 32、S300

國(guó)內(nèi)組裝數(shù)字型:S600 BR212S600 BR222、S600 BM212S600 BM222、S600 BR226、S600 BM226、S600 CR212、S600 CR222S600 CR226、S500BR212、S500BM212      

產(chǎn)品概述

日本horiba Z514、Z524數(shù)字式質(zhì)量流量控制器屬于SEC-500X系列,高性能數(shù)字式質(zhì)量流量控制器多用于進(jìn)口設(shè)備的PEVCVD、MOCVD中,國(guó)內(nèi)多回收、二次銷售,我公司提供進(jìn)口Z514、Z524,保修期1年。

Horiba Z514 Z512高品質(zhì)數(shù)字式質(zhì)量流量計(jì)

產(chǎn)品特點(diǎn)
1) 多種氣體及多種流量范圍, 可以自由地更改氣體類型及更改滿量程流量, 現(xiàn)場(chǎng)設(shè)定;
2) 超高精度:±1.0% S.P. (25-100% F.S.); ±0.25% F.S. (≤25% F.S.);
3) 快速響應(yīng):< 1(全量程范圍內(nèi),任意設(shè)置點(diǎn));
4) 非常方便的現(xiàn)場(chǎng)設(shè)置操作;
5) 多種氣體及多種流量范圍能力集成于一顆質(zhì)量流量控制器,可以zui大限度地減少庫(kù)存;
6) 與現(xiàn)有模擬式質(zhì)量流量控制器兼容;
7) 模擬通信與數(shù)字通信(DeviceNet)可同時(shí)進(jìn)行;

氣體接觸部件材料:SUS 316L不銹鋼(1sccm ~ 50slpm F.S. 類型);

 SUS 316L不銹鋼,Viton(氟化橡膠-密封)PTFE(聚四氟乙烯),磁性不銹鋼(100 ~ 200slpm F.S. 類型)

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Horiba Z514 Z512高品質(zhì)數(shù)字式質(zhì)量流量計(jì)

產(chǎn)品參數(shù)

規(guī)格-數(shù)字-模擬轉(zhuǎn)換模式 

型號(hào)*1

SEC-Z512、Z514

SEC-Z512MGX

SEC-Z522MGXN

SEC-Z522MGX

SEC-Z514MGX

SEC-Z524MGXN

SEC-Z524MGX

全標(biāo)準(zhǔn)流量
(N2 轉(zhuǎn)換流量)

1/2SCCM


10SCCM-10SLPM

10-50SLM

閥門類型

O: 通常打開 C: 通常關(guān)閉

關(guān)閉控制閥時(shí)的流量

≤ 2% F.S.

流量測(cè)量范圍

0-100% of F.S.

精確性*2

±1.0%F.S.

±1.0%S.P.(流量>25%F.S.)

±0.25%F.S.(流量≤25%F.S.)

工作溫度

5 -50°C (建議溫度范圍: 15 -45°C)

響應(yīng)

≤ 1 :超過(guò)全流量范圍

直線性

≤ ±0.5% F.S.

反復(fù)性

≤ ±0.2% F.S.

工作壓差值

≤ 300 kPa (d)

zui大工作壓力

450 kPa (g)

耐壓

1000 kPa (g)

外部泄漏率

≤ 5 x 10-12 Pa·m3/s (He)

流量設(shè)定信號(hào)

0.1 - 5 V DC (2% - F.S.); 輸入阻抗 1 MΩ 或更高

流量輸出信號(hào)

0 -5 V DC (0% - F.S.); zui小負(fù)荷阻力 2 kΩ 或更高

數(shù)字界面

地址功能: RS-485 (轉(zhuǎn)換速度 38,400 bps)

F-Net 協(xié)議,DevceNet

接液部材質(zhì)

316L 不銹鋼(表面拋光)

電源

+15V±5% 150mA

-15V±5% 150mA

信號(hào)反應(yīng)

模擬: D-Sub 9-pin (TOP)

數(shù)字: 2 LAN jacks (TOP)

標(biāo)準(zhǔn)接頭*3

1/4 inch VCR

1/4 inch VCR

1.5 inch IGS

選擇: 1.125 inch IGS, 1.5 inch IGS

可選1.125 inch IGS

安裝方向

自由

 

*1SEC(SEF)-Z512MGX, Z522MGX, Z522MGXN氣體類型以及全范圍設(shè)定由操作者運(yùn)用特殊軟件改變。
*2流量精度保證溫度符合 SEMI E56-1296 標(biāo)準(zhǔn)。精度是聯(lián)合全范圍MR以及MG數(shù)字值。
*3IGS: 完整氣體系統(tǒng)
*SCCM SLM 是表示氣體流量的記號(hào)。 (mL/min, L/min, at 0°C101.3 kPa)

訂購(gòu)注意:

 請(qǐng)?zhí)峁┊a(chǎn)品的介質(zhì)名稱、氣體量程、接口尺寸。

如是設(shè)備備件的更換,請(qǐng)?zhí)峁┰a(chǎn)品的背面圖片和側(cè)面圖片、頂部圖片。



 

本公司同時(shí)提供美國(guó)AALBORG、美國(guó)Alicat、日本KOFLOC、日本HORIBASTEC質(zhì)量流量計(jì)、質(zhì)量流量控制器、數(shù)字式質(zhì)量流量控制器、耐腐蝕質(zhì)量流量控制器

進(jìn)口數(shù)字型號(hào): SEC-Z514MGXSEC-Z524MGM、SEC-Z534MG、SEC-Z516MG

進(jìn)口低成本數(shù)字型:SEC-N112MGM、SEC-N114MGMSEC-N116MGM、SEC-N122MGMSEC-N132MGM、SEC-N142MGM、SEC-N176MGM。

進(jìn)口低成本模擬型:SEC-E40SEC-E50、SEC-E60SEC-E40MK3、SEC-E40V、SEC-E50Vkolfoc 3760、GFC17S、GFC37S、GFM47S、GFC57S、GFC67S、GFC77S,omega FMA1815S、

國(guó)內(nèi)組裝模擬型:Horiba S48 28、horiba S48 32

國(guó)內(nèi)組裝數(shù)字型:S600 BR212、S600 BR222S600 BM212、S600 BM222S600 BR226、S600 BM226S600 CR212、S600 CR222S600 CR226、S500BR212S500BM212。

Horiba液體流量控制器LV-F20 POLV-F30 PO、LV-F30 PO、LV-F40 PO、LV-F50 PO、LV-F60 PO、LV-F20 MO、LV-F40 MO、LV-F60 MOLF-F20M、LF-F30MLF-F40M、LF-F50M、LF-F60M

配套的閥門管件:韓國(guó)TKF 1/4手動(dòng)隔膜閥S4DVN-VM-P、1/2手動(dòng)隔膜閥S8DVN-VM-P1/4VCR五件套S4SG19-P、S4LG19-PUN4GT、S4MNS4FN,

美國(guó)Valex不銹鋼管,1/4"EP級(jí)不銹鋼管、3/8"EP級(jí)不銹鋼管、1/2"EP級(jí)不銹鋼管。

 

 

 

 


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