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Contour 高精度三維形貌計(jì)量光學(xué)輪廓儀
  • Contour 高精度三維形貌計(jì)量光學(xué)輪廓儀

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更新時(shí)間:2025-02-05 11:06:19

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Contour 高精度三維形貌計(jì)量光學(xué)輪廓儀完美融合了高級(jí)表征、可定制選項(xiàng)和易用性,可以提供快速、準(zhǔn)確和可重復(fù)的非接觸式三維表面計(jì)量方法。它的操作和分析軟件系統(tǒng)提供了更易于使用的界面和簡(jiǎn)潔的功能,可以訪(fǎng)問(wèn)多種預(yù)編程濾鏡和分析工具,用于精密加工的表面,薄膜,半導(dǎo)體,眼科,醫(yī)療設(shè)備,MEMS和摩擦學(xué)等領(lǐng)域的測(cè)量分析。

Contour 高精度三維形貌計(jì)量光學(xué)輪廓儀

Contour 高精度三維形貌計(jì)量光學(xué)輪廓儀完美融合了高級(jí)表征、可定制選項(xiàng)和易用性,可以提供快速、準(zhǔn)確和可重復(fù)的非接觸式三維表面計(jì)量方法。

它的操作和分析軟件系統(tǒng)提供了更易于使用的界面和簡(jiǎn)潔的功能,可以訪(fǎng)問(wèn)多種預(yù)編程濾鏡和分析工具,用于精密加工的表面,薄膜,半導(dǎo)體,眼科,醫(yī)療設(shè)備,MEMS和摩擦學(xué)等領(lǐng)域的測(cè)量分析。

Contour 高精度三維形貌計(jì)量光學(xué)輪廓儀滿(mǎn)足計(jì)量要求,具有很好的Z軸分辨率和準(zhǔn)確性,并在更小的占地面積內(nèi)提供了布魯克白光干涉儀(WLl)落地式型號(hào)所具備的業(yè)界認(rèn)可的優(yōu)點(diǎn)。它對(duì)反射率從0.05%到100  %的各種表面都非常易于測(cè)量。

Contour 高精度三維形貌計(jì)量光學(xué)輪廓儀擁有三款型號(hào),分別是GT100、GT200、GT500,它們的技術(shù)參數(shù)如下:

型號(hào)GT100GT200GT500
圖片GT100.jpg GT200.jpgGT500.jpg
樣品臺(tái)區(qū)別

手動(dòng)樣品臺(tái)

1.png

自動(dòng)樣品臺(tái)

2.png

高級(jí)自動(dòng)化樣品臺(tái)

3.png

技術(shù)參數(shù)

掃描量程:≤10mm

垂直分辨率:<0.01nm

水平分辨率:0.38μm min(Sparrow criterion),0.13μm(with AcuityXR)

臺(tái)階高度準(zhǔn)確性:<0.75%

臺(tái)階高度重復(fù)性:<0.1% 1 sigma repeatability

掃描速度:37μm/sec(with standard camera)

樣品傾角:≤40°(shiny surfaces),≤87°(rough surfaces)

樣品高度:≤100mm(4 in.)

 

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